[发明专利]研磨盘及其制作方法

权利要求书

1.一种研磨盘，其特征在于，制备所述研磨盘的原料包括：按重量份计，60-75份金刚石粉、8-25份氧化铝粉、5-15份铜粉、25-45份树脂、10-25份固化剂、0.1-0.5份硅烷偶联剂及5-20份辅料，所述树脂包括环氧树脂、酚醛树脂和聚氨酯，所述环氧树脂、所述酚醛树脂与所述聚氨酯的质量比为：1-3:1:1-2。

2.根据权利要求1所述的研磨盘，其特征在于，所述辅料为消泡剂、触变剂或造孔剂中的至少一种。

3.根据权利要求1所述的研磨盘，其特征在于，所述硅烷偶联剂为双3-三甲氧基甲硅烷基丙基胺。

4.一种研磨盘的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：按重量份计，将60-75份金刚石粉、8-25份氧化铝粉、5-15份铜粉、5-10份造孔剂、2-5份触 变剂、2-5份消泡剂与0.1-0.5份硅烷偶联剂混合后得到混合料A，然后将所述混合料A进行湿法球磨，干燥得到球磨料，所述湿法球磨工艺中的原料包含研磨球和有机醇；将树脂、球磨料混合并辊磨得到混合料B，其中，所述树脂包括环氧树脂、酚醛树脂和聚氨酯，所述环氧树脂、所述酚醛树脂与所述聚氨酯的质量比为：1-3:1:1-2，再向所述混合料B中加入固化剂以及固化促进剂辊磨，得到坯料；将所述坯料置于模具中热压，得到研磨盘前体，将所述研磨盘前体与基底粘合。

5.根据权利要求4所述的研磨盘的制作方法，其特征在于，所述有机醇为乙醇或异丙醇。

6.根据权利要求4所述的研磨盘的制作方法，其特征在于，所述湿法球磨工艺中，所述研磨球、所述有机醇、所述混合料A的质量比为2-4:1-3:1-3。

7.根据权利要求4所述的研磨盘的制作方法，其特征在于，混合料B、固化剂、固化促进剂的质量比为25-45：10-25：0.1-0.3。