[发明专利]流延阀及具备该流延阀的涂布装置

权利要求书

1.一种流延阀，包括基体(1)，其特征是：所述基体(1)上设置有由隔板(15)分隔成相邻排布的储液槽(17)和流延槽(18)，控制流延槽(18)的出液口(16)启闭的阀门(2)；所述隔板(15)的下部沿水平方向排布有多个连通储液槽(17)和流延槽(18)的接孔(151)，所述储液槽(17)的进液口位于储液槽(17)的上部。

2.根据权利要求1任意一项所述的流延阀，其特征是：所述流延阀包括组成所述流延槽(18)槽底的底板(11)和组成流延槽(18)远离储液槽(17)一侧槽壁的端板(14)，所述底板(11)的端面与端板(14)的侧面之间的间隙形成出液口(16)。

3.根据权利要求2所述的流延阀，其特征是：所述底板(11)靠近端板(14)的端部设置有相互倾斜的上导向面(111)、下导向面(113)以及平行端板(14)表面的端导面(112)。

4.根据权利要求2或3所述的流延阀，其特征是：所述阀门(2)包括固定于基体(1)上的基准板(21)、用于封闭出液口(16)的第一阀板(22)、至少两个带动第一阀板(22)移动的第一推送气缸(23)；所述第一推送气缸(23)以基准板(21)为基准固定于基准板(21)板上，所述第一推送气缸(23)的活塞杆穿过基准板(21)与第一阀板(22)连接。

5.根据权利要求4所述的流延阀，其特征是：所述第一阀板(22)的移动轨迹为竖向或垂向于流延槽(18)的槽底。

6.根据权利要求4所述的流延阀，其特征是：所述阀门(2)还包括沿隔板(15)的表面滑移用于遮挡接孔(151)的第二阀板(25)以及固定于基体(1)上用于带动第二阀板(25)移动的第二推送气缸(26)。

7.根据权利要求4所述的流延阀，其特征是：所述第一阀板(22)包括端部与上导向面(111)抵接配合的导向板(221)、重叠于导向板(221)的抵接板(222)；所述导向板(221)与导向面抵接时，所述抵接板(222)的端部与流延槽(18)的槽底抵接。

8.根据权利要求1任意一项所述的流延阀，其特征是：所述阀门(2)包括固定于基体(1)上的基准板(21)、用于封闭出液口(16)的第一阀板(22)、至少两个带动第一阀板(22)移动的第一推送气缸(23)；所述第一推送气缸(23)以基准板(21)为基准固定于基准板(21)板上，所述第一推送气缸(23)的活塞杆穿过基准板(21)与第一阀板(22)连接；所述流延阀包括组成所述流延槽(18)槽底的底板(11)和组成流延槽(18)远离储液槽(17)一侧槽壁的端板(14)，所述端板(14)低于其他流延槽(18)的其他侧壁，且所述端板(14)的端部分别设有倾斜的内导面和外导面；封闭时，所述第一阀板(22)的端部同时与内导面和外导面抵接配合。

9.一种具备该流延阀的涂布装置，包括权利要求1-8任意一项所述的流延阀，其特征是：还包括抬升架(3)、至少两个固定于抬升架(3)上的第一升降组件(31)、受第一升降组件(31)带动上下移动的刮板(32)，所述流延阀固定于抬升架(3)的底部，所述刮板(32)平行于端板(14)且与端板(14)间隔设置。

10.根据权利要求9所述的流延阀及具备该流延阀的涂布装置，其特征是：所述第一升降组件(31)为千分尺移动平台。