[发明专利]针卡固定圈旋转升降机构

说明书

本发明的目的是提供一种针卡固定圈旋转升降机构。一种针卡固定圈旋转升降机构，包括：旋转升降盘，设有套在旋转升降盘外的通孔的基座，若干个设有与通孔侧围接触的限位轮且与旋转升降盘下端连接的径向定位器，设于基座和旋转升降盘外侧围之间的斜楔形旋转升降机构，旋转升降驱动装置；径向定位器沿旋转升降盘圆周分布。该旋转升降驱动装置通过一个旋转升降驱动装置驱动旋转升降盘的旋转和升降，升降结构紧凑占用空间较小，旋转升降盘转动和升降同步进行，更换针卡效率较高；若干个设有与通孔侧围接触的限位轮且与旋转升降盘下端连接的径向定位器，使旋转升降盘转动定心精度高且轴向升降平稳。

技术领域

本发明涉及集成电路测试领域，尤其是一种针卡固定圈旋转升降机构。

背景技术

集成电路行业发展迅速，对晶圆测试设备的功能也提出了更高要求；通过具有自动取放更换安装在针卡固定圈上的针卡的晶圆测试设备对晶圆进行测试能提高测试效率；更换针卡时需要通过升降装置经升降平台顶升针卡固定圈，且通过转动装置转动针卡固定圈；传统的实现针卡固定圈升降的升降装置和实现针卡固定圈转动的转动装置分别设置，升降平台顶升针卡固定圈和针卡固定圈转动分步进行，存在结构不够紧凑占用空间较大，更换针卡效率较低的不足，因此，设计一种结构紧凑占用空间较小，更换针卡效率较高的针卡固定圈旋转升降机构，成为亟待解决的问题。

发明内容

本发明的目的是为了克服目前的实现针卡固定圈升降的升降装置和实现针卡固定圈转动的转动装置分别设置，升降平台顶升针卡固定圈和针卡固定圈转动分步进行，存在结构不够紧凑占用空间较大，更换针卡效率较低的不足，提供一种结构紧凑占用空间较小，更换针卡效率较高的针卡固定圈旋转升降机构。

本发明的具体技术方案是：

一种针卡固定圈旋转升降机构，包括：旋转升降盘，设有套在旋转升降盘外的通孔的基座，若干个设有与通孔侧围接触的限位轮且与旋转升降盘下端连接的径向定位器，设于基座和旋转升降盘外侧围之间的斜楔形旋转升降机构，旋转升降驱动装置；径向定位器沿旋转升降盘圆周分布。所述的针卡固定圈旋转升降机构使用时，旋转升降驱动装置经斜楔形旋转升降机构带动旋转升降盘转动，且同时实现旋转升降盘的升降；使与旋转升降盘连接的针卡固定圈旋转上升实现针卡更换，或使针卡固定圈旋转下降复位。该旋转升降驱动装置通过一个旋转升降驱动装置驱动旋转升降盘的旋转和升降，升降结构紧凑占用空间较小，旋转升降盘转动和升降同步进行，更换针卡效率较高；若干个设有与通孔侧围接触的限位轮且与旋转升降盘下端连接的径向定位器，使旋转升降盘转动定心精度高且轴向升降平稳。

作为优选，所述的斜楔形旋转升降机构包括：设于通孔上端且与通孔同轴的环槽，若干个沿旋转升降盘圆周分布的斜楔形旋转升降组件；斜楔形旋转升降组件包括：设有倾斜长孔且与环槽下侧边连接的导向块，升降凸轮导向轴承；升降凸轮导向轴承的连接螺杆与旋转升降盘连接；倾斜长孔的长度方向为环槽的周向；倾斜长孔一端与环槽下侧边的距离大于倾斜长孔另一端与环槽下侧边的距离；升降凸轮导向轴承的导向轴承位于倾斜长孔中且导向轴承的直径与倾斜长孔的宽度适配。斜楔形旋转升降机构通过斜楔形旋转升降组件的导向块设有的倾斜长孔与升降凸轮导向轴承配合，实现旋转升降盘的旋转和升降，结构简单实用。

作为优选，所述的导向块包括：上导向块和下导向块；倾斜长孔由上导向块和下导向块合围构成。利于制作和安装。