[发明专利]一种自驱动光电探测器及其制备方法

权利要求书

1.一种自驱动光电探测器的制备方法，其特征在于，其包括以下步骤：

将衬底清洗干净，用氮气吹干表面水滴，在加热台上加热；

在加热后的衬底表面利用溅射或蒸发的方法镀上导电层；

采用原子层沉积技术，在所述导电层的上表面沉积高介电常数层；

配备钙钛矿量子点前驱体溶液以及反溶剂，调节所述钙钛矿量子点前驱体溶液与所述反溶剂的比例，以配置高浓度的钙钛矿量子点溶液；

采用电沉积法，将钙钛矿量子点转移至高介电常数层表面，并真空干燥；

采用离子溅射法，在钙钛矿量子点层上溅射叉指电极。

2.根据权利要求1所述制备方法，其特征在于：所述高介电常数层的厚度为10～50nm。

3.根据权利要求1的所述制备方法，其特征在于：所述配置钙钛矿量子点前驱体溶液包括：将CH₃NH₃PbX₃或CsX与Pb X₂按照摩尔比8～10:10称取后，其中X＝Cl、Br或I，溶于N,N-二甲基甲酰胺或二甲基亚砜中，形成浓度在700～800mg/ml的钙钛矿量子点前驱体溶液。

4.根据权利要求1所述制备方法，其特征在于：所述配置反溶剂包括：将乙酸乙酯与油酸及油胺按体积比1000:1:0-0.2混合；所述调节所述钙钛矿量子点前驱体溶液与所述反溶剂的比例包括：将钙钛矿量子点前驱体溶液注入沸腾的反溶剂按照1:100的体积比混合后，冷却后，形成高浓度钙钛矿量子点溶液。

5.根据权利要求1的所述制备方法，其特征在于：所述真空干燥具体为，温度为室温，腔室压力为0.09～0.12MPa，干燥时间为12～24h。

6.一种自驱动光电探测器，其特征在于，所述自驱动光电探测器包括依次层叠的：绝缘衬底、导电层、高介电常数层、钙钛矿量子点层、叉指电极；所述自驱动光电探测器采用权利要求1-5的所述制备方法获得。

7.根据权利要求6的所述自驱动光电探测器，其特征在于：所述导电层为金、银、ITO或FTO，所述导电层的厚度为200nm-400nm。

8.根据权利要求6的所述自驱动光电探测器，其特征在于：所述高介电常数层的介电常数K值大于5，所述高介电常数层的厚度为10-50nm。

9.根据权利要求6的所述自驱动光电探测器，其特征在于：所述钙钛矿量子点层为CH₃NH₃PbX₃或CsPbX₃，其中X＝Cl、Br或I。

10.根据权利要求6的所述自驱动光电探测器，其特征在于：所述叉指电极为金或者银。