[发明专利]一种可以测试多轴向力学物理量的传感器结构

权利要求书

1.一种可以测试多轴向力学物理量的传感器结构，其特征在于，由三块相同的敏感元件组装而成，组装后的三块所述敏感元件的极化方向互相垂直，所述敏感元件设置有公共端以及各自独立的的信号输出端，还包括用于固定三块所述敏感元件的底座，所述底座包括直棱柱，所述直棱柱的底面至少包含一个直角，三块敏感元件分别安装于所述直棱柱的三个面，其中两块敏感元件的极化方向分别与底面的两条直角边平行，第三块敏感元件的极化方向与底面垂直，三块敏感元件在直棱柱中互相导通形成公共端，三块所述敏感元件上固定有配重质量块，所述敏感元件位于所述配重质量块和直棱柱之间，所述配重质量块外侧设置有用于将底座与配重质量块刚性固定的紧固环，所述底座还包括与所述直棱柱的一体成型的基座，所述基座位于紧固环的下方，所述基座设置有安装接口。

2.根据权利要求1所述的一种可以测试多轴向力学物理量的传感器结构，其特征在于，所述三个面分别为直棱柱的第一直角侧面、第二直角侧面和第三个侧面。

3.根据权利要求1或2所述的一种可以测试多轴向力学物理量的传感器结构，其特征在于，所述直棱柱为三棱柱，所述三棱柱的底面为直角三角形。

4.根据权利要求1或2所述的一种可以测试多轴向力学物理量的传感器结构，其特征在于，三块所述敏感元件采用胶粘或螺栓连接。

5.根据权利要求1所述的一种可以测试多轴向力学物理量的传感器结构，其特征在于，所述配重质量块采用密度大于7.8g/cm³的金属制成，所述底座采用弹性模量大于100GPa的材料制成。

6.根据权利要求5所述的一种可以测试多轴向力学物理量的传感器结构，其特征在于，所述紧固环采用具有延展性的金属材料制成。

7.根据权利要求1或2所述的一种可以测试多轴向力学物理量的传感器结构，其特征在于，所述敏感元件采用MEMS压力敏感元件。