[发明专利]透射镜聚焦光路装调系统及透射镜聚焦光路装调方法

权利要求书

1.一种透射镜聚焦光路装调系统，包括反射模块、孔径光阑、透射镜、光束出射干涉显示模块，其中，

在光轴一致状态下的所述反射模块和所述光束出射干涉显示模块之间设置有所述透射镜；

所述光束出射干涉显示模块包括干涉仪以及与所述干涉仪连接的计算机，所述干涉仪出射的作为装调光的平行光束的一部分作为检测光而另一部分作为参考光；

所述检测光穿过所述透射镜后由所述反射模块反射而逆向返回所述干涉仪以形成行进方向与所述参考光相反的反射光；

所述孔径光阑的口径中心与所述透射镜聚焦光路装调系统的主轴一致，所述孔径光阑的口径缘与穿过所述孔径光阑的检测光的光束边缘光线相切；

根据所述计算机显示的透射镜云图和基于所述反射光与所述参考光的干涉图样，定位所述透射镜及所述透射镜相对于所述装调光的焦点位置，根据所述透射镜的色散性质计算所述透射镜相对于所述装调光及所述聚焦光的焦点差距，由此，定位所述透射镜相对于所述聚焦光的焦点位置。

2.根据权利要求1所述的透射镜聚焦光路装调系统，其中，

所述反射模块为反射镜，该反射镜的镜面以使入射光逆向反射的方式形成。

3.根据权利要求2所述的透射镜聚焦光路装调系统，其中，

根据所述透射镜云图调整所述透射镜的放置角度，根据所述干涉图样调整所述透射镜的放置位置，由此，确定在所述透射镜聚焦光路装调系统的主轴上所述透射镜的位置、以及所述透射镜相对于所述装调光的焦点位置。

4.根据权利要求3所述的透射镜聚焦光路装调系统，其中，

所述孔径光阑在所述反射模块与所述透射镜之间以更靠所述透射镜的方式设置。

5.根据权利要求2所述的透射镜聚焦光路装调系统，其中，

定位上述相切的状态的孔径光阑在所述透射镜聚焦光路装调系统的主轴上的位置，按下述式子(1)计算所述透射镜的焦点在所述透射镜聚焦光路装调系统的主轴上距所述孔径光阑的位置的距离(h)，即，式子(1)：

在此，h为所述透射镜的焦点在所述透射镜聚焦光路装调系统的主轴上距所述孔径光阑的距离；d为所述孔径光阑的口径值；α为所述透射镜相对于装调光的光束汇聚角。

6.根据权利要求5所述的透射镜聚焦光路装调系统，其中，

根据所述孔径光阑的位置以及所述透射镜的焦点距所述孔径光阑的距离(h)，核对所述透射镜的焦点位置。

7.根据权利要求6所述的透射镜聚焦光路装调系统，其中，

所述反射镜为球面反射镜，所述透射镜为近轴区域为平凸形状的非球面透射镜，由此，在所述非球面透射镜的平面侧设置有所述球面反射镜，在所述非球面透射镜的非球面侧设置有所述干涉仪；

所述焦点差距通过式子(2)：

而计算，在此，R为所述焦点差距；β是所述透射镜相对于聚焦光的光束汇聚角；S是所述透射镜的有效口径。

8.根据权利要求1至权利要求7中任一项所述的透射镜聚焦光路装调系统，其中，

所述装调光的波长为632.8nm，所述聚焦光的波长为1550nm。

9.一种透射镜聚焦光路装调方法，是权利要求1至权利要求8中任一项所述的透射镜聚焦光路装调系统的装调方法，其中，

所述透射镜相对于所述聚焦光的焦点位置是聚焦光源的设置位置。