[发明专利]一种氮化硅陶瓷浆料、氮化硅陶瓷及其制备方法和应用

权利要求书

1.一种光固化成型氮化硅陶瓷浆料的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一、将氮化硅粉体加热处理，得到热氧化氮化硅粉体；

步骤二、将所述热氧化氮化硅粉体、烧结助剂、树脂、分散剂和光引发剂混合，得到光固化成型氮化硅陶瓷浆料；所述热氧化氮化硅粉体的粒径为0.2-1μm；所述加热处理的温度为1000℃~1300℃，升温速率为5~10℃/min，加热时间为1~5h。

2.根据权利要求1所述的光固化成型氮化硅陶瓷浆料的制备方法，其特征在于，所述烧结助剂为金属氧化物，所述金属氧化物包括氧化铝、氧化钇、氧化镧、氧化铈和氧化钆中的一种或多种。

3.根据权利要求1所述的光固化成型氮化硅陶瓷浆料的制备方法，其特征在于，所述树脂包括1,6-己二醇二丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯和三羟甲基丙烷三丙烯酸酯中的一种或多种。

4.根据权利要求1所述的光固化成型氮化硅陶瓷浆料的制备方法，其特征在于，所述光引发剂包括苯基双（2,4,6-三甲基苯甲酰基）氧化膦或/和(2,4,6-三甲基苯甲酰基)二苯基氧化膦。

5.根据权利要求1所述的光固化成型氮化硅陶瓷浆料的制备方法，其特征在于，所述步骤二包括：将所述热氧化氮化硅粉体与烧结助剂混合和干燥，得到干燥粉体；将所述干燥粉体与树脂、分散剂、消泡剂和光引发剂混合，得到光固化成型氮化硅陶瓷浆料。

6.一种光固化成型氮化硅陶瓷浆料，其特征在于，包括如权利要求1至5任意一项所述的光固化成型氮化硅陶瓷浆料的制备方法制得。

7.一种氮化硅陶瓷的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1、以如权利要求1至5任意一项所述的光固化成型氮化硅陶瓷浆料的制备方法制得的光固化成型氮化硅陶瓷浆料或如权利要求6所述的光固化成型氮化硅陶瓷浆料为原料，根据零件图的切片轮廓进行逐层曝光和固化叠加处理，得到成型坯体；

步骤2、将所述成型坯体经过清洗后在紫外环境中固化，得到固化坯体；

步骤3、将所述固化坯体进行脱脂和烧结，得到氮化硅陶瓷。

8.一种氮化硅陶瓷，其特征在于，包括如权利要求7所述的氮化硅陶瓷的制备方法制得。