[发明专利]薄膜太阳能电池制备方法及其边缘隔离方法有效
申请号: | 201810561244.5 | 申请日: | 2018-06-04 |
公开(公告)号: | CN108767066B | 公开(公告)日: | 2020-06-12 |
发明(设计)人: | 王振华;黄东海;汤志为;黄进阳;乐安新;杨凯;高云峰 | 申请(专利权)人: | 大族激光科技产业集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/0445 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人: | 何平 |
地址: | 518051 广东省深圳市南*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 薄膜 太阳能电池 制备 方法 及其 边缘 隔离 | ||
本发明涉及一种薄膜太阳能电池制备方法及其边缘隔离方法,该边缘隔离方法用于对经激光清边后的薄膜太阳能电池进行边缘隔离,包括步骤:提供经激光清边后的薄膜太阳能电池;机械刻刀移动到薄膜太阳能电池离短边清边区域预设距离处;机械刻刀受恒力驱使移动至机械刻刀的刀头正好与背电极层的表面接触;薄膜太阳能电池与机械刻刀沿垂直于内联刻线的方向相对移动,使得机械刻刀刮除掉透明导电层和吸收层,从而实现薄膜太阳能电池的边缘隔离,解决了薄膜太阳能电池进行激光清边时可能产生短路而影响薄膜太阳能电池性能的问题。
技术领域
本发明属于非晶硅薄膜太阳能电池加工领域,尤其涉及薄膜太阳能电池制备方法及其边缘隔离方法。
背景技术
在现有的太阳能薄膜太阳能电池技术中,薄膜太阳能电池具有光电转化率高、弱光性能好、成本低,既可以在硬质衬底,如玻璃上成膜做成刚性组件,又可以在柔性衬底上,如不锈钢、铝和耐高温高分子材料上做成柔性组件,最适合作为光伏建筑一体化使用等优点,受到了人们关注,是一种很有发展潜力的太阳能薄膜太阳能电池技术。
目前,在薄膜太阳能电池的加工工艺中,通常采用激光来对薄膜太阳能电池的进行清边处理。然而,在利用激光对薄膜太阳能电池进行清边过程中,由于激光器的脉宽和能量都是很大的,受激光的热影响,清边处容易出现短路而影响薄膜太阳能电池性能。
发明内容
基于此,有必要针对薄膜太阳能电池进行激光清边时可能产生短路而影响薄膜太阳能电池性能的问题,提供一种薄膜太阳能电池制备方法及其边缘隔离方法。
一种薄膜太阳能电池边缘隔离方法,该方法用于对经激光清边后的薄膜太阳能电池进行边缘隔离,所述薄膜太阳能电池包括依次层叠设置的衬底基板、背电极层、吸收层和透明导电层,所述薄膜太阳能电池经过激光清边后,所述衬底基板两侧形成短边清边区域,所述短边清边区域的延伸方向与薄膜太阳能电池的内联刻线相垂直,该方法包括以下步骤:
提供经激光清边后的薄膜太阳能电池;
机械刻刀移动到所述薄膜太阳能电池离所述短边清边区域预设距离处;
所述机械刻刀受恒力驱使移动至所述机械刻刀的刀头正好与所述背电极层的表面接触;
所述薄膜太阳能电池与所述机械刻刀沿垂直于所述内联刻线的方向相对移动,使得所述机械刻刀刮除掉所述透明导电层和所述吸收层。
在其中一个实施方式中,所述薄膜太阳能电池与所述机械刻刀沿垂直于所述内联刻线的方向相对移动,使得所述机械刻刀刮除掉所述透明导电层和所述吸收层进一步包括步骤:
所述机械刻刀保持位置不变,所述薄膜太阳能电池沿垂直于所述内联刻线的方向移动,使得所述机械刻刀刮除掉所述透明导电层和所述吸收层;
或者,
所述薄膜太阳能电池不动,所述机械刻刀沿垂直于所述内联刻线的方向移动,使得所述机械刻刀刮除掉所述透明导电层和所述吸收层。
在其中一个实施方式中,所述机械刻刀受恒力驱使移动至所述机械刻刀的刀头正好与所述背电极层的表面接触的步骤之前,所述机械刻刀先移动到距所述薄膜太阳能电池表面1mm~2mm处。
在其中一个实施方式中,所述恒力为1N~2N,调节精度为0.01N,波动范围小于5%。
在其中一个实施方式中,所述薄膜太阳能电池通过吸附装置吸附固定于工作台上。
在其中一个实施方式中,所述机械刻刀的刀头为钨钢材质或金刚石材质。
在其中一个实施方式中,所述机械刻刀的刀头与所述薄膜太阳能电池的表面垂直度在±5um以内。
在其中一个实施方式中,所述机械刻刀的刃口宽度为0.1mm~0.5mm。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的