[发明专利]一种洁净室的洁净度控制系统

说明书

本发明实施例公开了一种洁净室的洁净度控制系统，以自动控制风机过滤器机组的风机的转速，节约能源，提高洁净室的洁净度稳定性。该洁净室的洁净度控制系统包括风机过滤器机组、尘埃粒子浓度测试仪和控制系统，其中，风机过滤器机组设置于洁净室上方的上技术夹层内；尘埃粒子浓度测试仪设置于洁净室，用于测试洁净室工作区的尘埃粒子浓度；控制系统与风机过滤器机组和尘埃粒子浓度测试仪连接，当洁净室的尘埃粒子浓度大于设定值时，控制风机过滤器机组的风机提高转速；当洁净室的尘埃粒子浓度小于设定值时，控制风机过滤器机组的风机降低转速。

技术领域

本发明涉及洁净度控制技术领域，特别是涉及一种洁净室的洁净度控制系统。

背景技术

目前，随着科技的发展，电子产品已经广泛的应用到生产生活中。而电子产品中的主流产品包括半导体芯片和显示器件，其生产过程对厂房内的尘埃粒子浓度，即洁净度等级有严格的要求，因此通常在洁净室内进行工艺生产。为保证洁净室内的洁净度等级，洁净室内通常设置有净化空气调节系统，该系统通常包括风机过滤器机组(FFU)。

近几年，随着电子产品的加工尺寸和产能的提高，洁净室面积也随之扩大，以某加工尺寸较大的11代TFT-LCD显示器工厂为例，其洁净室面积达到40多万平方米，FFU数量超过10万台。

现有技术中，通常根据洁净室的面积和洁净度等级，设定FFU的数量和转速，具体的，风机转速及决定了风机的出风风量。而实际运行中，FFU的风机转速设定后，一般很长时间内不进行再设定。实测结果表明大多数洁净室的洁净度等级远优于工艺生产所要求的等级，显然循环空气量出现大量冗余，造成能源大量浪费。

发明内容

本发明实施例的目的是提供一种洁净室的洁净度控制系统，以自动控制风机过滤器机组的风机的转速，节约能源，提高洁净室的洁净度稳定性。

本发明实施例提供了一种洁净室的洁净度控制系统，该洁净室的洁净度控制系统包括：

风机过滤器机组，设置于洁净室上方的上技术夹层内；

尘埃粒子浓度测试仪，设置于洁净室，用于测试洁净室的尘埃粒子浓度；

控制系统，与风机过滤器机组和尘埃粒子浓度测试仪连接，当所述洁净室的尘埃粒子浓度大于设定值时，控制所述风机过滤器机组的风机提高转速；当所述洁净室的尘埃粒子浓度小于设定值时，控制所述风机过滤器机组的风机降低转速。

可选的技术方案中，所述控制系统与所述尘埃粒子浓度测试仪通过信号连接，所述信号包括模拟信号、数字信号或者光信号。

具体的技术方案中，所述控制系统包括与风机过滤器机组一一对应连接的分控制器，以及与所述分控制器和尘埃粒子浓度测试仪连接的总控制器，其中：

总控制器用于根据尘埃粒子浓度测试仪测得的洁净室的尘埃粒子浓度与设定值的关系，向分控制器发送风机过滤器机组控制指令；分控制器用于根据接收到的风机过滤器机组控制指令控制风机过滤器机组的风机提高转速或者降低转速。

可选的技术方案中，所述总控制器包括可编程逻辑控制器或者直接数字控制器；所述分控制器包括可编程逻辑控制器或者直接数字控制器。

进一步的技术方案中，洁净室的洁净度控制系统还包括显示系统，与所述风机过滤器机组和尘埃粒子浓度测试仪连接，用于显示风机的转速和洁净室的尘埃粒子浓度。

进一步的技术方案中，洁净室的洁净度控制系统还包括操作台，与所述风机过滤器机组连接，用于设定所述风机过滤器机组的风机的转速和所述设定值。

具体的技术方案中，所述设定值小于洁净室的尘埃粒子浓度目标值。

进一步的技术方案中，洁净室的洁净度控制系统包括多个风机过滤器机组。