[发明专利]一种触控感应器的制备方法及触控感应器

权利要求书

1.一种触控感应器的制备方法，其特征在于，所述方法包括：

在基板的第一表面溅镀第一金属层，并在所述基板与所述第一表面相对的第二表面溅镀第二金属层；

根据设置在所述第一金属层一侧的第一盖板将所述第一金属层刻蚀成具有第一图案的第一金属网格层，并根据设置在所述第二金属层一侧的第二盖板将所述第二金属层刻蚀成具有第二图案的第二金属网格层；其中，所述第一盖板具有镂空的所述第一图案，所述第二盖板具有镂空的所述第二图案，通过所述第一盖板与所述第二盖板相互对位，以使所述第一图案与所述第二图案相互匹配；

将所述第一金属网格层与所述第二金属网格层绑定FPC，以制成触控感应器；

所述根据设置在所述第一金属层一侧的第一盖板将所述第一金属层刻蚀成具有第一图案的第一金属网格层，并根据设置在所述第二金属层一侧的第二盖板将所述第二金属层刻蚀成具有第二图案的第二金属网格层包括：

在所述第一金属层表面涂布第一光阻层，并在所述第二金属层表面涂布第二光阻层；

在所述第一光阻层表面设置所述第一盖板，并在所述第二光阻层表面设置所述第二盖板；其中，所述第一盖板与所述第二盖板相互对位；

对所述第一盖板与所述第二盖板同时曝光，以在所述第一光阻层表面曝光出所述第一图案，并在所述第二光阻层表面曝光出所述第二图案；其中，所述第一图案与所述第二图案相互匹配；

对所述第一光阻层与所述第二光阻层进行显影；

透过所述第一光阻层刻蚀所述第一金属层，以制成所述第一金属网格层，并透过所述第二光阻层刻蚀所述第二金属层，以制成所述第二金属网格层；

在刻蚀所述第一金属层与所述第二金属层之后，去除所述第一光阻层与所述第二光阻层。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一盖板为第一铬板；所述第二盖板为第二铬板。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据设置在所述第一金属层一侧的第一盖板将所述第一金属层刻蚀成具有第一图案的第一金属网格层，并根据设置在所述第二金属层一侧的第二盖板将所述第二金属层刻蚀成具有第二图案的第二金属网格层包括：

在所述第一金属层表面设置所述第一盖板，并在所述第二金属层表面设置所述第二盖板；其中，所述第一盖板与所述第二盖板相互对位；

透过所述第一盖板在所述第一金属层表面印刷具有第一图案的第一遮挡层，并透过所述第二盖板在所述第二金属层表面印刷具有第二图案的第二遮挡层；其中，所述第一图案与所述第二图案相互匹配；

透过所述第一遮挡层刻蚀所述第一金属层，以制成所述第一金属网格层，并透过所述第二遮挡层刻蚀所述第二金属层，以制成所述第二金属网格层；

在刻蚀所述第一金属层与所述第二金属层之后，去除所述第一遮挡层与所述第二遮挡层。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一金属网格层包括多条第一金属线，多条所述第一金属线构成所述第一图案；所述第二金属网格层包括多条第二金属线，多条所述第二金属线构成所述第二图案；

所述将所述第一金属网格层与所述第二金属网格层绑定FPC包括：

将所述第一金属网格层与所述第二金属网格层绑定FPC，以使所述第一金属线构成接收通道，使所述第二金属线构成驱动通道。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，在所述根据设置在所述第一金属层一侧的第一盖板将所述第一金属层刻蚀成具有第一图案的第一金属网格层，并根据设置在所述第二金属层一侧的第二盖板将所述第二金属层刻蚀成具有第二图案的第二金属网格层之后，所述方法还包括：

在所述第一金属网格层表面贴合第一保护层。

6.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，在所述根据设置在所述第一金属层一侧的第一盖板将所述第一金属层刻蚀成具有第一图案的第一金属网格层，并根据设置在所述第二金属层一侧的第二盖板将所述第二金属层刻蚀成具有第二图案的第二金属网格层之后，所述方法还包括：

在所述第二金属网格层表面贴合第二保护层。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一金属层为第一导电银浆层；所述第二金属层为第二导电银浆层。