[发明专利]线性蒸发源、蒸发源系统及蒸镀装置

说明书

本申请涉及一种线性蒸发源、蒸发源系统及蒸镀装置，包括：承载平台，用于承载蒸发蒸镀材料的加热装置；加热装置的喷嘴安装面上设有线性喷嘴组，线性喷嘴组包括沿沿喷嘴的方向设于喷嘴安装面的多个喷嘴；线性喷嘴组配套设有喷嘴控制系统，用于调节线性喷嘴组内多个喷嘴的蒸镀方向；喷嘴控制系统包括多个设于承载平台的喷嘴控制单元。当使用该线性蒸发源将蒸镀材料蒸镀到目标基板时，制得的蒸镀膜的膜厚在线源方向上的膜厚均一性比较好；当蒸镀材料为有机电致发光材料时，可以利用本申请实施例提供的线性蒸发源蒸镀有机电致发光材料，提高有机电致发光材料在目标基板上形成的发光层在线源方向上的膜厚均一性。

技术领域

本申请涉及显示技术领域，特别是涉及一种线性蒸发源、蒸发源系统及蒸镀装置。

背景技术

在各类型的平板显示器中，有机电致发光显示器(OLED)具有宽视角、高亮度、高对比度、低驱动电压和快速响应的优点，被认为是下一代显示技术。

有机电致发光显示器是一种基于有机电致发光材料的电流型半导体发光器件，其主要依靠金属电极向发光层施加一定的电压，使发光层中的有机电致发光材料发光，从而实现图像响应；它以低功耗、高对比度、高色域、以及可以实现柔性显示的优点受到人们的广发关注。

目前，人们在制作有机电致发光显示器时，一般利用线性蒸发源蒸镀工艺将有机电致发光材料蒸镀到目标基板上，以制作其中的发光层，但是制得的发光层的膜厚在线源方向上膜厚不均匀，使得制成的有机电致发光显示器的显示效果比较差。

发明内容

基于此，有必要针对在蒸镀工艺中所制得发光层的膜厚在线源方向上存在膜厚不均匀的问题，提供一种线性蒸发源、蒸发源系统及蒸镀装置。

一种线性蒸发源，包括：

承载平台；

加热装置，设置于所述承载平台，所述加热装置具有一个喷嘴安装面；

线性喷嘴组，安装于所述喷嘴安装面，所述线性喷嘴组包括多个间隔设置的喷嘴；

喷嘴控制系统，与所述线性喷嘴组电连接，用于调节所述多个喷嘴的蒸镀方向。

上述线性蒸发源，由于线性喷嘴组还配套设有喷嘴控制系统，单个的喷嘴均配置有喷嘴控制单元，能够使得在发光层的膜厚在线源方向膜厚不均一时，通过喷嘴控制单元对其喷嘴进行转向驱动控制，进而改变有机膜层均一性，改善光学不良。

在其中一个实施例中，所述喷嘴控制单元包括：

驱动模块，用于驱动并改变所述喷嘴的蒸镀方向；

控制模块，用于对所述驱动模块进行电控制；

供电模块，用于向所述控制模块及所述驱动模块供电；

所述供电模块电连接于所述驱动模块及所述控制模块。

在其中一个实施例中，任一所述喷嘴控制单元与任一所述喷嘴一对一电连接，以通过任一所述喷嘴控制单元的驱动模块调整任一所述喷嘴的方向。

在其中一个实施例中，任一所述喷嘴控制单元与两个或两个以上的所述喷嘴一对多电连接，以通过任一所述喷嘴控制单元的驱动模块调整两个或两个以上的所述喷嘴的方向。

在其中一个实施例中，所述喷嘴具有大小可调的出液口，所述出液口设有多个叶片所组成的开闭结构，所述喷嘴通过控制所述叶片的转动以调整所述出液口的开口大小。

在其中一个实施例中，所述多个喷嘴控制单元沿线源方向设置于所述承载平台。

一种蒸发源系统，包括：

上述任一实施例中的线性蒸发源；