[发明专利]化学水浴薄膜的沉积装置

说明书

本申请公开了一种化学水浴薄膜的沉积装置，放卷辊，包括第一放卷辊和第二放卷辊，其中所述第一放卷辊用于缠绕隔离保护层，所述第二放卷辊用于缠绕镀膜衬底，并且，所述第一放卷辊和第二放卷辊被配置为使得所述隔离保护层覆盖所述镀膜衬底以形成复合层；水浴反应室，被配置为容纳所述复合层使其进行沉积反应；收卷辊，被配置为接收完成沉积反应的复合层。采用本发明的沉积装置对化学水浴薄膜进行沉积，可以阻止化学水浴在衬底背面的沉积，从而避免后续背面清洗工艺处理，既提高生产效率，又节约生产成本。

技术领域

本公开一般涉及一种薄膜的沉积装置，具体涉及一种化学水浴薄膜的沉积装置。

背景技术

对于不锈钢衬底卷对卷制造的薄膜电池，包括但不限于铜铟镓硒薄膜电池和碲化镉薄膜电池，都需要制备硫化镉或硫化锌缓冲层或n型层。由于物理溅射法靶材利于率低以及直接溅射会损伤电池吸收层等工艺弊端，目前产业上缓冲层制备大多采用化学沉积方法，包括化学水浴法和化学喷淋法。

化学水浴法通常需要将衬底浸没在反应溶液中进行薄膜沉积，因而衬底背面也会有薄膜沉积，需要后续的清洗工艺处理，增加了工艺的复杂性和生产成本；化学喷淋法可以实现衬底单面反应溶液喷淋，因而只在单面形成薄膜沉积，但是由于喷淋工艺的限制，反应溶液在柔性衬底表面的分布很难达到化学水浴时的各向同性，因而化学喷淋法制备的薄膜均匀性差，影响薄膜电池的性能和外观。

发明内容

鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种提高生产效率，节约生产成本的化学水浴薄膜的沉积装置。

本发明实施例采用的技术方案为：

一种化学水浴薄膜的沉积装置，包括：

放卷辊，包括第一放卷辊和第二放卷辊，其中所述第一放卷辊用于缠绕隔离保护层，所述第二放卷辊用于缠绕镀膜衬底，并且，所述第一放卷辊和第二放卷辊被配置为使得所述隔离保护层覆盖所述镀膜衬底以形成复合层；

水浴反应室，被配置为容纳所述复合层使其进行沉积反应；

收卷辊，被配置为接收完成沉积反应的复合层。

所述收卷辊包括第一收卷辊和第二收卷辊，其中第一收卷辊用于接收完成沉积反应的隔离保护层，第二收卷辊用于接收完成沉积反应的镀膜衬底。

所述放卷辊还包括放卷定位滚轴，所述放卷定位滚轴设置在第一放卷辊和第二放卷辊靠近水浴反应室的一侧。

所述收卷辊还包括收卷定位滚轴，所述收卷定位滚轴设置在第一收卷辊和第二收卷辊靠近水浴反应室的一侧。

所述水浴反应室内设有滚轴，所述滚轴包括第一滚轴和第二滚轴，所述第一滚轴设置在所述放卷定位滚轴的斜下方，所述第二滚轴设置在所述收卷定位滚轴的斜下方。

所述放卷辊与所述收卷辊对称设置在所述水浴反应室的侧上方。

所述第二滚轴与所述收卷定位滚轴之间设有清洗喷淋装置和干燥装置。

所述隔离保护层为柔性磁铁，所述镀膜衬底为不锈钢衬底。

所述柔性磁铁为具有强磁性的橡胶磁条或磁铁薄膜。

所述水浴反应室包括耐腐蚀的反应槽体、加热恒温装置、反应溶液排放装置和反应溶液补给装置，所述滚轴放置于耐腐蚀的反应槽体中，所述滚轴为耐腐蚀滚轴。

所述镀膜衬底上设有背电极金属层和p型光吸收层，所述隔离保护层覆盖在所述镀膜衬底远离背电极金属层的一面。

采用本发明的沉积装置对化学水浴薄膜进行沉积，可以阻止化学水浴在衬底无需镀膜的一面的无效沉积，从而避免后续对无效沉积面的清洗工艺处理，既提高生产效率，又节约生产成本。

附图说明