[发明专利]一种半导体生产线CPS环境下的调度优化方法及装置

权利要求书

1.一种半导体生产线CPS环境下的调度优化方法，其特征在于，该方法具体为：

构建面向调度的半导体生产线CPS环境，感知半导体生产线在生产过程中各类突发扰动，在发生突发扰动时，基于生产线动态信息进行重调度，根据生产线变化状况适时调整调度方案。

2.一种实现如权利要求1所述方法的半导体生产线CPS环境下的调度优化装置，其特征在于，包括：

通信模块，用于实现与实际生产线的通信；

CPS环境构建模块，用于建立与实际的目标生产线相对应的数字化三维模型；

调度优化设计模块，用于实时感知生产信息，在生产信息变化时触发重调度，并根据生产线动态信息生成新的生产线调度方案，实现重调度。

3.根据权利要求2所述的半导体生产线CPS环境下的调度优化装置，其特征在于，所述通信模块通过OPC技术与MQTT通信协议相结合的数据通信网络与实际生产线间实现通信。

4.根据权利要求2所述的半导体生产线CPS环境下的调度优化装置，其特征在于，所述CPS环境构建模块包括：

信息采集单元，用于通过所述通信模块采集目标生产线信息；

三维建模单元，用于根据所述目标生产线信息建立实际的目标生产线相对应的数字化三维模型；

动作设计单元，用于生成所述数字化三维模型中各部件的动态动作参数。

5.根据权利要求4所述的半导体生产线CPS环境下的调度优化装置，其特征在于，所述三维建模单元中，对所述目标生产线信息进行预处理后再建立所述数字化三维模型；

所述预处理包括删除在生产过程中无法观察到的面、合并断开顶点和移除孤立顶点。

6.根据权利要求4所述的半导体生产线CPS环境下的调度优化装置，其特征在于，所述CPS环境构建模块还包括：

在线展示模块，用于展示生产线加工状态。

7.根据权利要求2所述的半导体生产线CPS环境下的调度优化装置，其特征在于，所述调度优化设计模块包括：

输入层，用于通过所述通信模块获取生产线动态信息；

重调度决策层，用于根据所述生产线动态信息判断是否发生突发扰动，并在发生突发扰动时产生生成式重调度触发信号；

重调度层，响应所述生成式重调度触发信号，用于根据所述生产线动态信息使用重调度方案生成方法产生新的生产线调度方案。

8.根据权利要求7所述的半导体生产线CPS环境下的调度优化装置，其特征在于，所述重调度方案生成方法为CART决策树算法。

9.根据权利要求8所述的半导体生产线CPS环境下的调度优化装置，其特征在于，所述CART决策树算法中采用的生产线特征包括系统在制品数、各加工区缓冲区长度和故障设备号。

10.根据权利要求7所述的半导体生产线CPS环境下的调度优化装置，其特征在于，所述调度优化设计模块还包括：

评价层，用于基于数字化三维模型对所述新的生产线调度方案进行效果验证。