[发明专利]固体金属有机化合物串联式温差使用系统及其应用

权利要求书

1.固体金属有机化合物串联式温差使用系统，其特征在于：包含：

第一瓶体，具有第一进气管路和第一出气管路，第一出气管路连接至金属有机化学气相沉积设备；

第二瓶体，具有第二进气管路和第二出气管路；

三通阀，具有第一连接端、第二连接端以及第三连接端，第一连接端连接至金属有机化学气相沉积设备，第二连接端连接至第二瓶体的第二进气管路，第三连接端连接至第一瓶体的第一进气管路以及第二瓶体的第二出气管路。

2.根据权利要求1所述的固体金属有机化合物串联式温差使用系统，其特征在于：所述第一瓶体设置于恒温装置中。

3.根据权利要求1所述的固体金属有机化合物串联式温差使用系统，其特征在于：所述第二瓶体设置于室温环境中或恒温槽中。

4.根据权利要求1所述的固体金属有机化合物串联式温差使用系统，其特征在于：所述第一瓶体和第二瓶体均为三阀门瓶体。

5.根据权利要求1所述的固体金属有机化合物串联式温差使用系统，其特征在于：所述第一瓶体的容积小于第二瓶体的容积。

6.根据权利要求5所述的固体金属有机化合物串联式温差使用系统，其特征在于：所述第一瓶体的容积在1kg以下，第二瓶体的容积在1kg以上。

7.根据权利要求1所述的固体金属有机化合物串联式温差使用系统，其特征在于：还包含第一进气阀、第一出气阀以及第一横向阀，第一进气阀位于第一进气管路上，第一出气阀位于第一出气管路上，第一横向阀连接第一进气管路和第一出气管路。

8.根据权利要求1所述的固体金属有机化合物串联式温差使用系统，其特征在于：还包含第二进气阀、第二出气阀以及第二横向阀，第二进气阀位于第二进气管路，第二出气阀位于第二出气管路上，第二横向阀连接第二进气管路和第二出气管路。

9.根据权利要求1所述的固体金属有机化合物串联式温差使用系统，其特征在于：所述第一瓶体为单一瓶体或两瓶串联或多瓶串联，所述第二瓶体为单一瓶体或两瓶串联或多瓶串联。

10.权利要求1所述系统在金属有机气相沉积中应用，其特征在于：

第一瓶体、第二瓶体与金属有机化学气相沉积设备通过三通阀间接连接，三通阀在操作条件下选择性地将三通阀的第一连接端与第二连接端连通，或者将第一连接端与第三连接端连通；

三通阀的第一连接端与第二连接端连通时，金属有机化学气相沉积设备的载气通过第二瓶体的第二进气管路进入第二瓶体，接着经过第二瓶体的第二出气管路和第一瓶体的第一进气管路进入第一瓶体，再由第一瓶体的第一出气管路返回至金属有机化学气相沉积设备；

三通阀的第一连接端与第三连接端连通时，金属有机化学气相沉积设备的载气通过第一瓶体的第一进气管路进入第一瓶体，再由第一瓶体的第一出气管路返回至金属有机化学气相沉积设备；

通过三通阀选择性地使第一瓶体或第一瓶体及第二瓶体中的固体金属有机化合物的蒸气随载气流入金属有机化学气相沉积的制程中。