[发明专利]化学机械研磨后晶圆清洗方法及系统

权利要求书

1.一种化学机械研磨后晶圆清洗方法，其特征在于，所述化学机械研磨后晶圆清洗方法使用清洗刷对化学机械研磨后的晶圆表面进行清洗，包括如下步骤：

1)确定清洗参数和清洗刷电机扭矩的变化关系；

2)确定最佳清洗效果时段内所述清洗刷电机扭矩的变化范围；

3)使用清洗刷对所述晶圆表面进行清洗，并量测所述晶圆清洗过程中所述清洗刷电机扭矩；及，

4)将所述晶圆清洗过程中所述清洗刷电机扭矩与最佳清洗效果时段内所述清洗刷电机扭矩的范围进行比对，并依据比对结果及所述清洗参数与所述清洗刷电机扭矩的变化关系调整更新清洗参数。

2.根据权利要求1所述的化学机械研磨后晶圆清洗方法，其特征在于：步骤4)之后还包括重复步骤3)～步骤4)至少一次的步骤。

3.根据权利要求1所述的化学机械研磨后晶圆清洗方法，其特征在于：所述清洗参数包括所述清洗刷与所述晶圆表面的距离。

4.根据权利要求3所述的化学机械研磨后晶圆清洗方法，其特征在于：所述清洗刷与所述晶圆表面的距离X与所述清洗刷电机扭矩Y的变化关系符合：Y＝kX+b，其中，k为小于0的常数，b为大于0的常数。

5.根据权利要求3所述的化学机械研磨后晶圆清洗方法，其特征在于：步骤4)中，当所述清洗刷电机扭矩偏离最佳清洗效果时段内所述清洗刷电机扭矩的范围时，根据所述清洗刷与所述晶圆表面的距离与所述清洗刷电机扭矩的变化关系，调整所述清洗刷与所述晶圆表面的距离，使实际清洗刷电机扭矩回到最佳清洗效果时段内所述清洗刷电机扭矩的范围内。

6.根据权利要求1所述的化学机械研磨后晶圆清洗方法，其特征在于：步骤2)中，通过收集若干个同类型清洗刷在最佳清洗效果时段内的刷电机扭矩变化数据，确定最佳清洗效果时段内所述清洗刷电机扭矩的变化范围。

7.根据权利要求1所述的化学机械研磨后晶圆清洗方法，其特征在于：步骤3)中，在使用所述清洗刷对所述晶圆表面进行清洗时，同步使用清洗液对所述晶圆表面进行清洗。

8.根据权利要求1所述的化学机械研磨后晶圆清洗方法，其特征在于：所述清洗刷电机扭矩的相对扭矩强度范围介于3％～20％。

9.根据权利要求1所述的化学机械研磨后晶圆清洗方法，其特征在于：按照扭矩相对强度计算，单次清洗作业的所述清洗刷电机扭矩的变化幅度介于0.5％～4％。

10.根据权利要求1所述的化学机械研磨后晶圆清洗方法，其特征在于：步骤3)之前还包括设定所述清洗刷报废极限扭矩的步骤；步骤4)中，所述晶圆清洗过程中得到的所述清洗刷电机扭矩同时与所述最佳清洗效果时段内所述清洗刷电机扭矩的范围及所述清洗刷报废极限扭矩进行比对，当所述清洗刷电机扭矩低于所述清洗刷报废极限扭矩则更换所述清洗刷。

11.根据权利要求1所述的化学机械研磨后晶圆清洗方法，其特征在于：步骤3)之前还包括设定所述晶圆的极限缺陷数的步骤；步骤4)中，将所述晶圆清洗后的缺陷数与所述极限缺陷数进行比对，当所述缺陷数超过所述极限缺陷数则更换所述清洗刷。