[发明专利]一种半导体二极管生产制造工艺有效

专利信息
申请号: 201810534881.3 申请日: 2018-05-29
公开(公告)号: CN108470684B 公开(公告)日: 2021-03-19
发明(设计)人: 陈欣洁;王勇 申请(专利权)人: 上海朋熙半导体有限公司
主分类号: H01L21/329 分类号: H01L21/329
代理公司: 广州海藻专利代理事务所(普通合伙) 44386 代理人: 张大保
地址: 201800 上海市嘉定*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 半导体 二极管 生产 制造 工艺
【权利要求书】:

1.一种半导体二极管生产制造工艺,其特征在于:采用如下工艺步骤进行生产制造:

步骤一:酸洗;将二极管芯片放置在硫酸和磷酸的混酸溶液内进行酸腐蚀,且硫酸与磷酸的体积比为1:2,腐蚀时间为10~15min,酸温度控制在1~5℃之间;

步骤二:电镀;待步骤一酸洗工序完成后,酸洗后的二极管芯片经电镀,在二极管芯片表面形成金属保护层,镀层厚度为3~5μm,镀层金属为锡;

步骤三:焊接;待步骤二电镀工序完成后,将两金属制的引脚(4)、焊片和电镀后的二极管芯片装入工夹具内,送入焊接炉三次加温,第一次温度控制在270~280℃,焊接时间为4~5min,第二次温度控制在280~290℃,焊接时间为4~5min,第三次温度控制在290~300℃,焊接时间为4~5min,使二极管芯片与引脚(4)连接;

步骤四:绝缘保护;待步骤三焊接工序完成后,焊接后的材料经清洗烘干后,用相应治具上绝缘保护胶,再经固化工艺,促使引脚(4)上的绝缘保护胶所形成的胶层(41)完全固化;

步骤五:引脚(4)折弯;待步骤四绝缘保护工序完成后,将二极管的引脚(4)放入二极管引脚成形设备中,先对二极管引脚(4)夹持固定和对二极管引脚(4)的胶层软化,然后对二极管引脚(4)折弯成形;

步骤六:后处理;待步骤五引脚(4)折弯工序完成后,对固化好的产品进行表面处理,再测试成品包装;

其中,所述步骤五中所用到的二极管引脚成形设备,包括安装架(1)、折弯模块(2)和夹持模块(3),所述安装架(1)包括工作台(11)和支撑架(12);所述支撑架(12)位于工作台(11)下端,支撑架(12)与工作台(11)固连,支撑架(12)用于支撑工作台(11);所述工作台(11)上设置有弧形通孔(111),且弧形通孔(111)位于折弯模块(2)处;所述夹持模块(3)位于工作台(11)的台面上,夹持模块(3)与工作台(11)为可拆卸式连接,夹持模块(3)用于夹持二极管的引脚(4);所述折弯模块(2)位于夹持模块(3)端部,折弯模块(2)用于对二极管的引脚(4)折弯;

所述夹持模块(3)包括夹具体(31)、电机二(32)、驱动轴(33)、夹头(34)、轴套(35)和弹簧(36),所述夹具体(31)上设置有滑槽一,夹具体(31)固定于工作台(11)上;所述驱动轴(33)贯穿夹具体(31),驱动轴(33)与夹具体(31)转动连接,驱动轴(33)包括多个驱动轴单元(331);所述驱动轴单元(331)上设置有两段长度相同但旋向相反的螺旋槽,驱动轴单元(331)之间设置有联轴器(332),联轴器(332)用于连接两个相邻的驱动轴单元(331);所述电机二(32)固定于夹具体(31)的一端,电机二(32)用于带动驱动轴(33)转动;所述夹头(34)与滑槽一滑动配合,两个夹头(34)组成一个夹持单元(341),每个夹持单元(341)内的两个夹头(34)相邻近且安装方向相反,夹头(34)下端设置滑槽二;所述轴套(35)与滑槽二直线滑动连接;所述弹簧(36)位于滑槽二内,弹簧(36)的一端与轴套(35)侧壁固定连接,弹簧(36)的另一端与夹头(34)内壁固定连接,弹簧(36)用于缓冲和降低轴套(35)所受轴向力;所述驱动轴(33)穿过轴套(35),驱动轴(33)与轴套(35)相适配,每个驱动轴单元(331)与相对应的夹持单元(341)相适配,驱动轴单元(331)正反转动驱动夹持单元(341)内的两个夹头(34)相向或相反运动,驱动轴单元(331)正反转动驱动夹持单元(341)夹持二极管的一个引脚(4)。

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