[发明专利]一种在金属表面制备的玫瑰金薄膜及其制备方法

权利要求书

1.一种在金属表面制备的玫瑰金薄膜，包括金属基体，该金属基体材料为不锈钢，其特征在于：玫瑰金薄膜为多层结构，金属基体的表面为玫瑰金镀层，玫瑰金镀层与金属基体之间有TiN和Ti过渡层。

2.根据权利要求1所述的一种在金属表面制备玫瑰金薄膜的方法，其特征在于：其包括以下步骤：

S1、前处理：将金属基体打磨抛光，依次放入酒精和丙酮中超声清洗各10-15min，放入真空干燥箱中充分干燥后迅速放入镀膜机真空室，镀膜机真空室本底真空度为8.0×10-3Pa，加热至230℃，保温时间20-30min；

S2、离子清洗：在镀膜机真空室通入Ar气，其压力为0.3Pa，开启偏压电源，电压250V，占空比74.4，辉光放电清洗20-30min；偏压降低至200V，开启离子源离子清洗20-30min，然后开启电弧源Ti靶，偏压200-300V，靶电流70A，离子轰击Ti靶3-4min；

S3、沉积Ti：调整Ar气压至0.36-0.39Pa，偏压降低至50-60V，电弧镀Ti3-5min；

S4、沉积TiN：调整工作气压为0.32-0.36Pa，偏压58V，Ti靶电流50-60A；开启N2，调整N2流量为110-130sccm，沉积温度为120-200℃，中频磁控溅射沉积TiN15-20min；

S5、沉积玫瑰金镀层：关闭Ti靶材，关闭N2；调整Ar气压至0.9-1.8Pa，偏压至100-200V，开启金靶电源，电流调制5-6A，中频磁控溅射沉积玫瑰金60-70min；

S6、后处理：关闭金靶电源，关闭偏压电源、离子源及气体源，保温20-25min，镀层结束；

S7、钝化处理：将镀有玫瑰金薄膜的金属基体浸金银保护水，温度为30℃,钝化处理5min，取出烘干。