[发明专利]一种真空传输装置有效

专利信息
申请号: 201810521696.0 申请日: 2018-05-28
公开(公告)号: CN109065487B 公开(公告)日: 2020-10-23
发明(设计)人: 王慧勇;肖慧 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第四十八研究所
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L31/18
代理公司: 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 代理人: 周长清;戴玲
地址: 410111 湖南*** 国省代码: 湖南;43
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摘要:
搜索关键词: 一种 真空 传输 装置
【权利要求书】:

1.一种真空传输装置,其特征在于:包括传输组件、第一真空腔体(1)、第二真空腔体(2)和真空发生器(3),所述传输组件包括输送带(4)和驱动输送带(4)转动的传送驱动机构(5),所述第一真空腔体(1)位于输送带(4)的输送段(401)的下方,并与输送段(401)贴合,所述第一真空腔体(1)与第二真空腔体(2)之间通过支撑组件(6)连接,且二者通过连接管道(7)连通,所述真空发生器(3)与第二真空腔体(2)连通,所述输送段(401)与第一真空腔体(1)贴合的表面沿着输送方向设有真空吸附孔(82),所述真空吸附孔(82)与第一真空腔体(1)连通,所述第二真空腔体(2)的腔体容积不小于第一真空腔体(1)的腔体容积与连接管道(7)的容积之和,所述第一真空腔体(1)与输送段(401)贴合的表面沿着输送方向设有长腰型槽(92),所述长腰型槽(92)内设有成排的通气小孔(81),所述输送带(4)上设有成排的真空吸附孔(82),所述通气小孔(81)的数量与输送段(401)内的真空吸附孔(82)数量相同,且二者重合。

2.根据权利要求1所述的真空传输装置,其特征在于:所述输送带(4)包括并排间隔设置的两个子输送带(41),所述两个子输送带(41)均由传送驱动机构(5)驱动,所述两个子输送带(41)均设有一排真空吸附孔(82),所述第一真空腔体(1)包括两个子真空腔体(11),两个子真空腔体(11)均设有一排通气小孔(81),两个子输送带(41)与两个子真空腔体(11)一一对应。

3.根据权利要求2所述的真空传输装置,其特征在于:所述第二真空腔体(2)与两个子真空腔体(11)之间设有多根所述连接管道(7),多根所述连接管道(7)两两一组,每一组的两根连接管道(7)分别与两个子真空腔体(11)连通;所述两个子真空腔体(11)的腔体容积之和、多根连接管道(7)的容积之和以及第二真空腔体(2)的腔体容积三者相等。

4.根据权利要求3所述的真空传输装置,其特征在于:所述子真空腔体(11)与输送段(401)贴合的表面设有盖板(9),所述盖板(9)上设有容纳子输送带(41)的沉槽(91),所述长腰型槽(92)位于沉槽(91)内。

5.根据权利要求4所述的真空传输装置,其特征在于:所述子真空腔体(11)为定制型材且两端密封,所述定制型材上设有切口,所述盖板(9)嵌入所述切口并与定制型材粘接,所述盖板(9)为塑料板;所述第二真空腔体(2)为定制型材,所述定制型材一端密封,另一端设有管道连接板(21),并通过柔性管道(22)与真空发生器(3)连通。

6.根据权利要求1至5任意一项所述的真空传输装置,其特征在于:所述第一真空腔体(1)与输送段(401)贴合的表面的两端设有无真空吸附区(101)。

7.根据权利要求2至5任意一项所述的真空传输装置,其特征在于:所述支撑组件(6)包括两根支撑立柱(61),两根支撑立柱(61)位于第二真空腔体(2)的两端,所述支撑立柱(61)一端设有两块侧安装板(611),两块侧安装板(611)分别与两个子真空腔体(11)对应连接,所述支撑立柱(61)另一端设有固定板(612),所述固定板(612)与第二真空腔体(2)连接。

8.根据权利要求7所述的真空传输装置,其特征在于:所述传送驱动机构(5)包括电机(51)、主传送带(52)、主传动轴(53)、从传动轴(54)、两个主动轮(55)和两个从动轮(56),所述主传动轴(53)设于一根支撑立柱(61)上,所述两个主动轮(55)设于主传动轴(53)的两端,所述从传动轴(54)设于另一根支撑立柱(61)上,两个从动轮(56)设于从传动轴(54)的两端,所述主传送带(52)绕设于电机(51)输出端与其中一个主动轮(55)上,所述子输送带(41)绕于主动轮(55)和从动轮(56)上。

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