[发明专利]一种利用原子层沉积法制备的复合电子传输层钙钛矿太阳能电池及其制备方法

权利要求书

1.一种利用原子层沉积法制备的复合电子传输层钙钛矿太阳能电池及其制备方法其特征为使用了使用原子层沉积法制备的富勒烯/二氧化钛复合电子传输层，电池的结构特征为具备透明的顶电极和金属背电极，使用有机小分子、聚合物、无机物等做为空穴传输材料。该种钙钛矿太阳能电池具有很高的热稳定性，此外其光电转换性能也较为优良。

2.如权利要求1所指的钙钛矿光活性层其主要制备原料包括，PbI₂、MAI、FAI、CsI、PbBr₂、PbCl₂。

3.如权利要求1所指钙钛矿光活性层其制备方法有一步法、两步法。

4.一种利用原子层沉积法制备的复合电子传输层钙钛矿太阳能电池的制备方法包括如下的步骤：

(1)步骤一，清洗透明导电基底ITO、FTO等。

(2)步骤二，在透明导电基底上通过旋涂、喷涂或者电化学的方法在透明导电基底上制备窗口层如NiO、PTAA、PEDOT，即第一层传输层材料。

(3)步骤三，通过两步法或者一步法的方法制备钙钛矿光活性层，其厚度介于200-2000nm之间。

(4)步骤四，在钙钛矿光活性层材料上，将富勒烯衍生物的非极性溶剂的溶液通过旋涂、喷涂等工艺制备成第二层传输层材料的薄膜。

(5)步骤五，利用原子层沉积系统，以TiCl₄、水做为前驱体，基底在50-200℃的条件下，沉积一层厚度为5-200nm厚的TiO₂。

(6)步骤六，在高真空的条件下，通过蒸镀、溅射等工艺将低功函的金属电极沉积在第富勒烯/二氧化钛复合电子传输层上。

(7)步骤七，使用适当的封装方法将制备好的富勒烯/二氧化钛复合电子传输层的钙钛矿太阳能电池组件封装好，隔绝水氧，提升其稳定性。

5.权利要求4所述的方法制备得到的一种利用原子层沉积法制备的复合电子传输层钙钛矿太阳能电池。