[发明专利]加热装置及其制备方法和应用

权利要求书

1.一种加热装置的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

制备两个板状的生坯，每个所述生坯的材料包括陶瓷粉料，所述陶瓷粉料包括氮化铝和助烧剂，所述助烧剂与所述氮化铝的质量比为3:100～5:100；

在其中一个所述生坯的一个表面上形成金属坯体层，所述金属坯体层的材料包括钨和添加剂，所述添加剂选自氧化钇及氮化铝中的至少一种；

在形成有所述金属坯体层的所述生坯上层叠另一个所述生坯，以使所述金属坯体层位于两个所述生坯之间，得到层叠件；

将所述层叠件压合，以使两个所述生坯与所述金属坯体层紧密接触，并使两个所述生坯的边缘相粘合而使两个所述生坯共同密封所述金属坯体层，得到复合坯体；及

将所述复合坯体烧结处理，得到所述加热装置。

2.根据权利要求1所述的加热装置的制备方法，其特征在于，还包括所述生坯的制备步骤，所述生坯的制备步骤包括：将所述陶瓷粉料与有机单体、交联剂、助剂和水混合形成浆料；在所述浆料中加入催化剂和引发剂，然后注模成型，再经干燥，得到所述生坯。

3.根据权利要求1所述的加热装置的制备方法，其特征在于，所述在其中一个所述生坯的一个表面上形成金属坯体层的步骤包括：采用钨浆在其中一个所述生坯的一个表面上丝网印刷形成所述金属坯体层，所述钨浆包括所述钨和所述添加剂。

4.根据权利要求1所述的加热装置的制备方法，其特征在于，所述添加剂与所述钨的质量比为3:97～6:94。

5.根据权利要求1所述的加热装置的制备方法，其特征在于，所述助烧剂选自氧化钇及氧化钙中的至少一种。

6.根据权利要求1所述的加热装置的制备方法，其特征在于，所述氮化铝的中位粒径为1微米～2微米；及/或，所述助烧剂的中位粒径为0.4微米～0.8微米。

7.根据权利要求1所述的加热装置的制备方法，其特征在于，所述将所述层叠件压合的步骤为：将所述层叠件在静水压力下压合。

8.根据权利要求1～7任一项所述的加热装置的制备方法，其特征在于，所述将所述复合坯体烧结处理的步骤包括：将所述复合坯体排胶处理，然后在保护气体的气氛中将所述复合坯体在1780℃～1830℃下烧结。

9.一种加热装置，其特征在于，由权利要求1～8任一项所述的加热装置的制备方法制备得到。

10.权利要求9所述的加热装置在晶圆的加工处理中的应用。