[发明专利]光扫描设备、光接收设备及激光雷达系统

权利要求书

1.一种光扫描设备，其特征在于，

具备：

第1镜；

第2镜，与上述第1镜对置；

2个非波导区域，在上述第1镜与上述第2镜之间，在与上述第1镜及上述第2镜的至少一方的反射面平行的第1方向上隔开间隙排列；

光波导区域，位于上述第1镜与上述第2镜之间且上述2个非波导区域之间，具有比上述2个非波导区域各自的平均折射率高的平均折射率，使光沿着与上述第1镜及上述第2镜的上述至少一方的反射面平行且与上述第1方向垂直的第2方向传播；以及

第1调整元件，使上述光波导区域的折射率及厚度的至少一方变化；

上述光波导区域包含液体；

上述第1镜及上述第2镜分别包括与上述2个非波导区域相接的第1部分和与上述光波导区域相接的第2部分；

上述第1镜及上述第2镜各自的上述第1部分的表面能量比上述液体的表面能量小，并且比上述第1镜及上述第2镜的至少一方的上述第2部分的表面能量小；

上述第1镜具有比上述第2镜高的光透射率，使在上述光波导区域内传播的上述光的一部分从上述光波导区域向外部透射，作为射出光向与平行于上述第1方向及上述第2方向的虚拟平面交叉的第3方向射出；

上述第1调整元件通过使上述光波导区域的折射率及厚度的至少一方变化，从而使作为上述射出光的射出方向的上述第3方向变化。

2.如权利要求1所述的光扫描设备，其特征在于，

上述第1镜及上述第2镜各自的上述第1部分的上述表面能量比上述第1镜及上述第2镜各自的上述第2部分的上述表面能量小。

3.如权利要求1或2所述的光扫描设备，其特征在于，

上述第1镜及上述第2镜各自的上述第1部分的上述表面能量为5mJ/m²以上40mJ/m²以下。

4.如权利要求1～3中任一项所述的光扫描设备，其特征在于，

上述2个非波导区域分别是空气。

5.如权利要求1～4中任一项所述的光扫描设备，其特征在于，

上述第1调整元件具备连接至上述第1镜及上述第2镜的至少一方的致动器；

上述致动器通过使上述第1镜与上述第2镜的距离变化，从而使上述光波导区域的厚度变化。

6.如权利要求5所述的光扫描设备，其特征在于，

上述致动器包括压电部件，通过使上述压电部件变形，从而使上述第1镜与上述第2镜的距离变化。

7.如权利要求1～4中任一项所述的光扫描设备，其特征在于，

上述光波导区域包含液晶作为上述液体；

上述第1调整元件具备中间夹着上述光波导区域的一对电极，通过对上述一对电极施加电压，从而使上述光波导区域的折射率变化。

8.如权利要求1～7中任一项所述的光扫描设备，其特征在于，

上述第1镜及上述第2镜的至少一方包括多层反射膜。

9.如权利要求1～8中任一项所述的光扫描设备，其特征在于，

当设上述射出光的波数矢量的上述第2方向的成分为X成分时，

上述第1调整元件通过使上述光波导区域的上述折射率及上述厚度的至少一方变化，从而使上述波数矢量的X成分变化。

10.如权利要求1～9中任一项所述的光扫描设备，其特征在于，

具备：

多个光波导区域，包括上述光波导区域；以及

多个非波导区域，包括上述2个非波导区域；

上述多个光波导区域各自的平均折射率比上述多个非波导区域各自的平均折射率高；

上述多个光波导区域及上述多个非波导区域在上述第1镜与上述第2镜之间在上述第1方向上交替地排列。