[发明专利]一种旋转靶材焊接设备

说明书

本发明公开了一种旋转靶材焊接设备，包括衬管、液压支架、单节靶材套、靶材装夹、加热体，所述衬管位于液压支架之上，所述衬管外侧舍友单节靶材套，所述衬管内部设有加热体，所述衬管由靶材装夹固定，本发明结构简单，易拆卸，且方便工作人员使用和理解。

技术领域

本发明涉及靶材焊接的技术领域，尤其涉及一种旋转靶材焊接设备。

背景技术

随着电子信息产业的飞速发展,薄膜科学应用日益广泛，溅射法是制备薄膜材料的主要技术之一,溅射沉积薄膜的源材料即为靶材，用靶材溅射沉积的薄膜致密度高,附着性好，20世纪90年代以来,微电子行业新器件和新材料发展迅速,电子、磁性、光学、光电和超导薄膜等已经广泛应用于高新技术和工业领域,促使溅射靶材市场规模日益扩大。如今,靶材已蓬勃发展成为一个专业化产业，传统的采用直接固定焊接，若焊接点不在一个地方的话，就必须重新卸载，再重新焊接，过程比较复杂，耗时比较长。

发明内容

发明目的：本发明所要解决焊接，过程比较复杂，耗时比较长的技术问题，本发明提供一种旋转靶材焊接设备。

为了解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是：一种旋转靶材焊接设备，包括衬管、液压支架、单节靶材套、靶材装夹、加热体，所述衬管位于液压支架之上，所述衬管外侧舍友单节靶材套，所述衬管内部设有加热体，所述衬管由靶材装夹固定。

旋转靶材焊接设备操作步骤如下：

第一步，把表面处理好的衬管放在液压支架上，竖起；

第二步，把内表面处理好的单节靶材套在衬管上，把加热体从衬管顶部放入衬管，放到需要加热的位置；

第三步， 靶材装夹固定后，加热，到温后，灌入焊料，降温，加热体提出衬管；

第四步，套入第二节靶材，重复2~3条的工序。

第五步，直到整根靶材绑定完成，通过液压支架取下靶材，最后绑定完成。

进一步，所述衬管内部加热后表面温差不超过5°。

本发明具有如下优点：

1、本衬管可以围绕液压支架之上，液压支架可以360°旋转，避免了时间的浪费；

2、单节靶材套可以保护工作人员在衬管加热时不被烫伤。

附图说明

图1为本实施例一种旋转靶材焊接设备的结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图并通过具体实施例对本发明做进一步阐述，应当指出：对于本工艺领域的普通工艺人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，对本发明的各种等价形式的修改均落于本申请所附权利要求所限定的范围。

实施例1：

如图1所示，一种旋转靶材焊接设备，包括衬管、液压支架、单节靶材套、靶材装夹、加热体，所述衬管位于液压支架之上，所述衬管外侧舍友单节靶材套，所述衬管内部设有加热体，所述衬管由靶材装夹固定，本发明结构简单，易拆卸，且方便工作人员使用和理解。

旋转靶材焊接设备操作步骤如下：

第一步，把表面处理好的衬管放在液压支架上，竖起；

第二步，把内表面处理好的单节靶材套在衬管上，把加热体从衬管顶部放入衬管，放到需要加热的位置；

第三步， 靶材装夹固定后，加热，到温后，灌入焊料，降温，加热体提出衬管；

第四步，套入第二节靶材，重复2~3条的工序。

第五步，直到整根靶材绑定完成，通过液压支架取下靶材，最后绑定完成。