[发明专利]双腔结构的光纤温度与压力传感器及其制备方法

权利要求书

1.一种双腔结构的光纤温度与压力传感器，其特征在于，包括：

入射组件，包括入射光纤，用于引导相干光束的入射；

反射组件，包括反射光纤，用于与所述入射组件保持合理距离，形成本征型F-P腔和非本征型F-P腔；

所述本征型F-P腔，位于所述入射组件与反射组件之间，由第二毛细管与一段光纤熔接而成；

所述非本征型F-P腔，由所述本征型F-P腔与所述入射组件或所述反射组件的端面保持合理距离形成；

第一毛细管，固定连接所述入射组件、所述本征型F-P腔、所述非本征型F-P腔、所述反射组件；

根据所述非本征型F-P腔的腔长对所述相干光束的反射获得测量温度和压力；根据所述本征型F-P腔的腔长对所述相干光束的反射获得测量温度；对所述非本征型F-P腔进行温度补偿，得到精确的测量压力。

2.根据权利要求1所述双腔结构的光纤温度与压力传感器，其特征在于，所述入射光纤插入所述本征型F-P腔的所述第二毛细管，固定连接。

3.根据权利要求2所述双腔结构的光纤温度与压力传感器，其特征在于，所述反射组件还包括第三毛细管，所述反射光纤插入所述第三毛细管，固定连接，所述反射光纤的端面与所述本征型F-P腔之间形成所述非本征型F-P腔。

4.根据权利要求2所述双腔结构的光纤温度与压力传感器，其特征在于，所述反射光纤与所述第一毛细管熔接，修剪成反射薄膜。

5.根据权利要求1所述双腔结构的光纤温度与压力传感器，其特征在于，所述入射组件还包括第三毛细管，所述入射光纤插入所述第三毛细管，固定连接，所述入射光纤的端面与所述本征型F-P腔之间形成非本征型F-P腔。

6.根据权利要求5所述双腔结构的光纤温度与压力传感器，其特征在于，所述反射光纤插入所述本征型F-P腔的所述第二毛细管，固定连接。

7.一种双腔结构的光纤温度与压力传感器的制备方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：

将第二毛细管与一段光纤熔接在一起，对所述光纤剪薄研磨为需要的长度，形成本征型F-P腔；

将入射组件、所述本征型F-P腔、反射组件插入第一毛细管，合理控制其距离，形成非本征型F-P腔，固定连接形成双腔结构的光纤温度与压力传感器。

8.根据权利要求7所述双腔结构的光纤温度与压力传感器的制备方法，其特征在于，所述将入射组件、所述本征型F-P腔、反射组件插入第一毛细管，合理控制其距离，形成非本征型F-P腔具体包括如下步骤：

将所述入射组件的入射光纤插入所述本征型F-P腔的所述第二毛细管，固定连接后插入所述第一毛细管，再固定连接；

将反射光纤插入第三毛细管固定连接，形成所述反射组件；

将所述反射组件插入所述第一毛细管，固定连接，所述反射组件的端面与所述本征型F-P腔之间保持合理距离，形成非本征型F-P腔。

9.根据权利要求7所述双腔结构的光纤温度与压力传感器的制备方法，其特征在于，所述将入射组件、所述本征型F-P腔、反射组件插入第一毛细管，合理控制其距离，形成非本征型F-P腔具体包括如下步骤：

将第一毛细管与反射光纤熔接在一起，对所述反射光纤剪薄研磨为反射薄膜，形成反射组件；

将所述入射组件的入射光纤插入所述本征型F-P腔的所述第二毛细管，固定连接后插入所述第一毛细管，固定连接；所述本征型F-P腔与所述反射薄膜的端面之间保持合理距离，形成非本征型F-P腔。

10.根据权利要求7所述双腔结构的光纤温度与压力传感器的制备方法，其特征在于，所述将入射组件、所述本征型F-P腔、反射组件插入第一毛细管，合理控制其距离，形成非本征型F-P腔具体包括如下步骤：

将所述反射组件的反射光纤插入所述本征型F-P腔的所述第二毛细管，固定连接后插入所述第一毛细管，固定连接；

将所述入射组件的入射光纤插入第三毛细管，固定连接后插入所述第一毛细管，固定连接；所述入射光纤的端面与所述本征型F-P腔之间保持合理距离，形成非本征型F-P腔。