[发明专利]气敏元件敏感材料及其制备方法在审

申请号：	201810498239.4	申请日：	2018-05-22
公开（公告）号：	CN108760832A	公开（公告）日：	2018-11-06
发明（设计）人：	林勇;罗彪;张天宇	申请（专利权）人：	芜湖美智空调设备有限公司;美的集团股份有限公司
主分类号：	G01N27/12	分类号：	G01N27/12
代理公司：	深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287	代理人：	晏波
地址：	241000 安徽省***	国省代码：	安徽;34
权利要求书：	查看更多	说明书：	查看更多
摘要：
搜索关键词：	敏感材料气敏元件敏感膜制备长期工作稳定性敏感材料颗粒化学稳定性合理配方界面处灵敏度电阻势垒配合
钻瓜网技术展会专利词库专利权人专利榜在售专利公布日期热门专利

【说明书】：

本发明公开了一种气敏元件敏感材料及其制备方法。其中，所述气敏元件敏感材料含有如下组分：SnO₂88～95wt％，Sb₂O₃2～5wt％，SiO₂0.2～2wt％，Al₂O₃0.2～2wt％，PdCl₂0.5～4wt％。本发明技术方案通过SnO₂88～95wt％，Sb₂O₃2～5wt％，SiO₂0.2～2wt％，Al₂O₃0.2～2wt％，PdCl₂0.5～4wt％的合理配方设计，有利于提升气敏元件的长期工作稳定性；通过SnO₂、Al₂O₃和Sb₂O₃的配合，改善敏感膜的机械强度、热和化学稳定性，降低敏感材料颗粒界面处的势垒，降低所形成的敏感膜的电阻，提高灵敏度。

技术领域

本发明涉及气敏元件材料，特别涉及气敏元件敏感材料及其制备方法。

背景技术

气体敏感材料作为半导体气体传感器的核心部分之一，对传感器的实际检测能力具有重要作用。在制备半导体气体传感器时，敏感材料的浆料配方制备至关重要，直接影响传感器的特性。目前，绝大部分的敏感材料浆料的配方设计和制备方法均不能满足传感器的要求，制备的传感器的灵敏度较低和长期工作稳定性较差，这直接影响和限制了这些传感器的实际应用领域。

发明内容

本发明的主要目的是提供气敏元件敏感材料，旨在解决现有气敏元件敏感材料在应用到半导体气体传感器时，所制备的传感器的灵敏度较低，长期工作稳定性较差的问题。

为实现上述目的，本发明提出一种气敏元件敏感材料，所述气敏元件敏感材料含有如下组分：SnO₂ 88～95wt％，Sb₂O₃ 2～5wt％，SiO₂ 0.2～2wt％，Al₂O₃ 0.2～2wt％，PdCl₂ 0.5～4wt％。

可选地，所述气敏元件敏感材料含有如下组分：SnO₂ 92～94wt％，Sb₂O₃2.5～4wt％，SiO₂ 0.3～1wt％，Al₂O₃ 0.5～1.2wt％，PdCl₂ 1～2.5wt％。

可选地，所述SnO₂呈粉末状，且粒径为20～80nm。

可选地，所述Sb₂O₃呈粉末状，且粒径为20～60nm。

可选地，所述SiO₂呈粉末状，且粒径为20～60nm。

可选地，所述Al₂O₃呈粉末状，且粒径为40～80nm。

可选地，所述气敏元件敏感材料还包含有与所述SnO₂，Sb₂O₃，SiO₂，Al₂O₃和PdCl₂相混合的有机溶剂。

可选地，所述有机溶剂为乙醇-松油醇混合溶液。

本发明还公开了一种气敏元件敏感材料的制备方法，包括如下步骤：

下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。