[发明专利]混合间隔件多光谱滤光器

说明书

光学滤光器可以包括第一镜、第二镜以及设置在第一镜与第二镜之间的间隔件层结构。间隔件层结构可以包括第一组层。第一组层中的每个层可以是与第一折射率和大于层厚度阈值的厚度相关联的第一材料。间隔件层结构可以包括第二组层。第二组层中的每个层可以是与第二折射率相关联的第二材料。可以选择第二组中的每个层来替换第一材料的对应层。对应层可以与小于层厚度阈值的厚度相关联。

背景技术

多光谱传感器装置可以用于捕获信息。例如，多光谱传感器装置可以捕获与一组电磁频率相关的信息。多光谱传感器装置可以包括捕获信息的一组传感器元件(例如，光学传感器、光谱传感器、和/或图像传感器)。例如，传感器元件的阵列可以用于捕获与多个频率相关的信息。传感器元件阵列的特定传感器元件可以与限制针对特定传感器元件的频率范围的滤光器相关联。

发明内容

根据一些可能的实现方式，光学滤光器可以包括第一镜、第二镜以及设置在第一镜与第二镜之间的间隔件层结构。间隔件层结构可以包括第一组层。第一组层中的每个层可以是与第一折射率和大于层厚度阈值的厚度相关联的第一材料。间隔件层结构可以包括第二组层。第二组层中的每个层可以是与第二折射率相关联的第二材料。可以选择第二组中的每个层来替换第一材料的对应层。对应层可以与小于层厚度阈值的厚度相关联。

根据一些可能的实现方式，多光谱滤光器可以包括沉积在与一组传感器元件相关联的衬底上的第一镜，以从光源部分地反射光。多光谱滤光器可以包括第二镜，以从光源部分地反射光。多光谱滤光器可以包括间隔件，该间隔件设置在第一镜和第二镜之间并且包括与对应于一组传感器元件的多个信道相关联的多个层。多个层中的第一一个或多个层可以是具有第一折射率的氢化硅。第一一个或多个层中的每一个可以与大于层厚度阈值的厚度相关联。多个层中的第二一个或多个层可以与具有第二折射率的材料相关联。

根据一些可能的实施方式，光学滤光器可以包括衬底。光学滤光器可以包括设置到衬底上的一组光学滤光器层。一组光学滤光器层可以包括光学滤光器层的与第一折射率相关联的第一子集。一组光学滤光器层可以包括光学滤光器层的与比第一折射率更小的第二折射率相关联的第二子集。一组光学滤光器层可以形成多个信道。每个信道可以关联于在对应的中心波长处传递光。每个中心波长可以与相邻的中心波长分开小于阈值信道分离的距离。

附图说明

图1是本文所描述的示例实现方式的概要图；

图2A-2D是与本文所描述的多光谱滤光器相关的特性图；

图3A-3D是与本文所描述的多光谱滤光器相关的特性图；

图4A-4E是与本文所描述的多光谱滤光器相关的特性图；

图5A和5B是与本文所描述的多光谱滤光器相关的特性图；以及

图6A-6D是与本文所描述的多光谱滤光器相关的特性图。

具体实施方式

示例实现方式的以下详细描述参考附图。不同附图中的相同附图标记可以标识相同或相似的元件。

传感器元件(例如，光学传感器)可以合并到光学传感器装置中，以获得关于一组电磁频率的信息。例如，光学传感器装置可以包括可以进行光的传感器测量的图像传感器、多光谱传感器等。光学传感器装置可以利用一个或多个传感器技术，诸如互补金属-氧化物-半导体(CMOS)技术、电荷耦合装置(CCD)技术等。光学传感器装置可以包括多个传感器元件(例如，传感器元件的阵列)，该多个传感器元件中的每一个配置为获得信息。