[发明专利]微型输送装置

权利要求书

1.一种微型输送装置，其特征在于，包括：

一进气板，具有至少一进气孔、至少一汇流排孔及一汇流腔室，该至少一进气孔导入气体，该至少一汇流排孔的一端连通该至少一进气孔，另一端与该汇流腔室连通，以引导由该至少一进气孔导入的气体汇流至该汇流腔室；

一共振片，具有一中空孔洞，对应该进气板的该汇流腔室；

一压电致动器，具有：

一悬浮板，具有介于7.5mm至13mm之间的直径，以及具有一第一表面及一第二表面，该悬浮板的该第一表面具有一凸部，该凸部具有一凸部顶面；

一外框，环绕设置于该悬浮板的周边，且具有一组配表面及一外框底面，该凸部顶面与该外框的该组配表面为非共平面，该凸部顶面低于该外框的该组配表面；

至少一支架，连接设置于该悬浮板与该外框之间，用以提供弹性支撑该悬浮板；以及

一压电元件，贴附于该悬浮板的该第一表面，该压电元件为圆形的形态，其直径小于该悬浮板的直径；

其中，该共振片堆叠于该压电致动器的该外框的该组配表面，该进气板堆叠于该共振片，使该压电致动器及该共振片依序对应堆叠设置，且该压电致动器的该悬浮板使用冲压方式，使其向下凹陷形成一空间得以与该共振片构成一腔室间距以形成一第一腔室，使该压电致动器受电压驱动时，气体由该进气板的该至少一进气孔导入，经该至少一汇流排孔汇集至该汇流腔室，再流经该共振片的该中空孔洞，以进入该第一腔室内，再由该压电致动器的该至少一支架之间的一空隙向下传输，以持续推出气体。

2.如权利要求1所述的微型输送装置，其特征在于，该悬浮板的该第一表面与该外框的该组配表面形成为非共平面，且使该悬浮板的该第一表面与该共振片之间保持该腔室间距。

3.如权利要求2所述的微型输送装置，其特征在于，该腔室间距由该至少一支架成形于该悬浮板与该外框之间所调整。

4.如权利要求1所述的微型输送装置，其特征在于，该悬浮板的该第一表面低于该外框的该组配表面。

5.如权利要求4所述的微型输送装置，其特征在于，该悬浮板的该第二表面低于该外框的该外框底面。

6.如权利要求1所述的微型输送装置，其特征在于，该外框、该至少一支架及该悬浮板呈一盘形结构。

7.如权利要求1所述的微型输送装置，其特征在于，该悬浮板的该凸部为一圆形凸起结构，其直径为该悬浮板的直径0.4～0.5倍。

8.如权利要求1所述的微型输送装置，其特征在于，该微型输送装置更包括至少一绝缘片及一导电片，且该至少一绝缘片及该导电片依序设置于该压电致动器之下。

9.如权利要求1所述的微型输送装置，其特征在于，更包含一集气板，该集气板具有一第一贯穿孔、一第二贯穿孔、一第一卸压腔室、一第一出口腔室以及一基准表面，该第一出口腔室具有一凸部结构，该凸部结构的高度高于该集气板的该基准表面，该第一贯穿孔与该第一卸压腔室相连通，该第二贯穿孔与该第一出口腔室相连通，其中上述的该集气板、该压电致动器、该共振片及该进气板依序对应堆叠设置定位，且该共振片与该压电致动器之间的该腔室间距形成该第一腔室，使该压电致动器受驱动时，气体由该进气板的该至少一进气孔导入，经该至少一汇流排孔汇集至该汇流腔室，再流经该共振片的该中空孔洞，以进入该第一腔室内，再由该压电致动器的该至少一支架间的该空隙向下传输至该集气板，以持续推出气体。

10.如权利要求9所述的微型输送装置，其特征在于，该集气板的一表面更具有一集气腔室，且该集气腔室与该第一贯穿孔及该第二贯穿孔相连通。