[发明专利]内嵌传感器装置及用于生产和调试内嵌传感器装置的方法

权利要求书

1.一种用于检测表示测量介质的分析物含量的被测变量的测量值的内嵌传感器装置，包括：

-传感器，其被设计为生成并输出与所述被测变量相关的测量信号，

其中，所述传感器具有至少一个无菌传感器元件，所述无菌传感器元件被设置用于与所述测量介质接触；和

-围绕所述至少一个传感器元件的壳体，所述壳体将所述传感器元件封装在腔室中，所述腔室相对于所述壳体的环境被紧密地密封，并且

其中，所述腔室在其内包含气体体积，所述气体体积被设计成使得在很大程度上防止有害物质对所述至少一个传感器元件的影响。

2.根据权利要求1所述的内嵌传感器装置，

其中，所述有害物质是活性氮簇和/或活性氧簇。

3.根据权利要求1所述的内嵌传感器装置，

其中，所述腔室内的所述气体体积主要由惰性气体构成。

4.根据权利要求3所述的内嵌传感器装置，

其中，所述腔室内的所述气体体积由一种或多种稀有气体构成。

5.根据权利要求1所述的内嵌传感器装置，

其中，所述腔室内的气体体积含有体积分数分别小于1体积％的氧和/或氮。

6.根据权利要求5所述的内嵌传感器装置，

其中，所述腔室内的气体体积含有体积分数分别小于0.5体积％的氧和/或氮。

7.根据权利要求6所述的内嵌传感器装置，

其中，所述腔室内的气体体积含有体积分数分别小于0.1体积％的氧和/或氮。

8.根据权利要求1所述的内嵌传感器装置，

其中，用于消除氧和/或消除或吸附气态有害物质的试剂被设置在所述腔室内。

9.根据权利要求8所述的内嵌传感器装置，

其中，用于消除/吸附氮氧化物和/或活性氮簇和/或活性氧簇的试剂被设置在所述腔室内。

10.根据权利要求1所述的内嵌传感器装置，

其中，所述壳体和封装在其中并且相对于所述环境被密封的所述腔室被设计成使得给定在所述壳体在110℃的温度下在15分钟的时间段内进行外部热灭菌的情况下，所述壳体内的相对湿度为不超过77％的值。

11.根据权利要求10所述的内嵌传感器装置，

其中，所述壳体内的相对湿度为不超过23％的值。

12.根据权利要求11所述的内嵌传感器装置，

其中，所述壳体内的相对湿度为不超过3％的值。

13.根据权利要求12所述的内嵌传感器装置，

其中，所述壳体内的相对湿度为不超过1％的值。

14.根据权利要求1所述的内嵌传感器装置，

其中，所述内嵌传感器装置具有至少一个湿度传感器，所述湿度传感器被设计成检测表示所述腔室内的相对湿度的测量值。

15.根据权利要求1所述的内嵌传感器装置，

其中，所述壳体包括由一个或多个壳体部件形成的壁，所述壁紧密地封装所述腔室，其中，在110℃的温度下、在所述腔室与所述壁的所述环境之间存在的小于5巴的压差以及在所述腔室与所述壁的所述环境中存在大于67％的相对湿度差的情况下，所述壁的平均水蒸气透过率小于420g/(m²d)。

16.根据权利要求15所述的内嵌传感器装置，

其中，所述壁的平均水蒸气透过率小于125g/(m²d)。