[发明专利]抗PID性能光伏电池片及其制备方法在审
| 申请号： | 201810483681.X | 申请日： | 2018-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN108461564A | 公开（公告）日： | 2018-08-28 |
| 发明（设计）人： | 朱广和;赵雅;费春燕;赵沁;王燕;赵枫;李向华 | 申请（专利权）人： | 江苏东鋆光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/048 | 分类号： | H01L31/048;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 | 代理人： | 赵海波;孙燕波 |
| 地址： | 214421 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 制备 光伏电池片 高温高压 湿氧化 湿氧 掩蔽 电池片表面 包装入库 二次清洗 结构致密 生产过程 丝网印刷 一次清洗 一致性好 电池片 滚轮印 良品率 有效地 手套 成膜 分选 管控 残留 测试 扩散 | ||
1.一种抗PID性能光伏电池片的制备方法，采用一次清洗→扩散→二次清洗→高温高压干湿氧化→PECVD→丝网印刷→测试分选→包装入库的方法制备而成，其特征在于：所述高温高压干湿氧化包括以下步骤：
步骤一：氧化炉加温至900℃，真空压力达到400Pa并稳定后，氧化瓶温度达到90℃并稳定后，上述温度、压力应在3分钟内处于稳定状态；
步骤二：在上述炉温、压力、瓶温处于稳定状态下，先通入60CC/分干氧，进行清洗/吹扫石英管；
步骤三：将硅片放置在石英舟上推入炉管恒温区，关闭炉门；
步骤四：待温度、压力达标稳定后开始通入干氧，时间为4分钟；
步骤五：开始通入湿氧，时间为27分钟，同时加入HCL气体，时间为8分钟；
步骤六：再次通入干氧，时间为4分钟；
步骤七：再次通入湿氧，时间为27分钟，同时加入HCL气体，时间为8分钟；
步骤八：再次通入干氧，时间为4分钟；
步骤九：开启炉门，拉出石英舟，取出硅片。
2.根据权利要求1所述的一种抗PID性能光伏电池片的制备方法，其特征在于：所述高温高压干湿氧化工艺在相应的氧化装置下完成，所述氧化装置包括：氧化炉(1)、氧化瓶(6)、O2气体罐(9)和HCL气体罐(10)，在所述氧化炉(1)内设有石英管(2)，在所述石英管(2)内分别设有用于加热的热电偶(4)和用来放置石墨舟的S1片区(3)，所述O2气体罐(9)和HCL气体罐(10)分别通过管路与石英管(2)相连通，并且在O2气体罐(9)和HCL气体罐(10)各自的管路上分别设有O2气体直通自动控制阀(13)和HCL气体自动控制阀(12)，所述氧化瓶(6)上设有温度计(7)，并且设有一与O2气体罐(9)连通的进气管，和一与石英管(2)连通的出气管，所述氧化瓶(6)置于加热油槽内，加热油槽置于电炉(5)上，在所述氧化瓶(6)与石英管(2)和O2气体罐(9)连接的管路上分别设有湿氧自动控制阀(15)和干氧通入氧化瓶自动控制阀(14)。
3.根据权利要求2所述的一种抗PID性能光伏电池片的制备方法，其特征在于：在所述O2气体罐(9)的出气管上设有O2气体滤球(11)，以确保干氧的纯度。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
