[发明专利]大面积石墨烯制备设备

权利要求书

1.一种大面积石墨烯制备设备，其特征在于，所述设备是包含下述部分的大面积石墨烯制备设备：

主机部；

安装在上述主机部的上部，一侧可与进气口相连，另一侧可与真空单元相连的炉(chamber)；

安装在上述炉(chamber)的上部的第1加热器；

安装在上述炉(chamber)的下部的第2加热器；以及

可包裹住上述炉、上述第1加热器以及上述第2加热器，且与上述真空单元相连，使上述炉的周围形成真空的真空罩。

2.如权利要求1所述的大面积石墨烯制备设备，其特征在于，所述设备是包含下述部分的大面积石墨烯制备设备：

可调节上述第1加热器相对于上述炉的位置的第1加热器驱动单元；以及

可与上述第1加热器驱动单元独立运转，调节上述第2加热器相对于上述炉的位置的第2加热器驱动单元。

3.如权利要求2所述的大面积石墨烯制备设备，其特征在于，所述设备是包含下述部分的大面积石墨烯制备设备：

上述第1加热器驱动单元包含：

第1驱动电机；

依托上述第1驱动电机旋转的第1副齿轮；

向纵向延长，依托上述第1副齿轮进行升降的第1齿杆；

与上述第1齿杆的支座相连，用于固定上述第1加热器的第1加热器支撑部；

包裹着上述第1齿杆，使上述第1齿杆的周围维持真空状态的第1抽吸泵。

4.如权利要求2所述的大面积石墨烯制备设备，其特征在于，所述设备是包含下述部分的大面积石墨烯制备设备：

上述第2加热器驱动单元包括：

第2驱动电机；

依托上述第2驱动电机旋转的第2副齿轮；

向纵向延长，依托上述第2副齿轮进行升降的第2齿杆；

与上述第2齿杆的支座相连，用于固定上述第2加热器的第2加热器支撑部；

包裹着上述第2齿杆，使上述第2齿杆的周围维持真空状态的第2抽吸泵。

5.如权利要求1所述的大面积石墨烯制备设备，其特征在于，所述设备是包含下述部分的大面积石墨烯制备设备：

上述第1加热器包含沿着第1方向排列的多个第1线型加热器，

上述第2加热器包含沿着与上述第1方向垂直的第2方向排列的多个第2线型加热器。

6.如权利要求1所述的大面积石墨烯制备设备，其特征在于，所述设备是包含下述部分的大面积石墨烯制备设备：

上述炉由石英制成，是具有椭圆形或者四边形剖面的一体型筒式形态。

7.如权利要求6所述的大面积石墨烯制备设备，其特征在于，所述设备是包含下述部分的大面积石墨烯制备设备：

置于上述气体进气口和上述炉的一个支座之间，嵌入上述炉的一个支座并用于密封上述炉的第1凸缘；

置于上述真空单元和上述炉的另一个支座之间，嵌入上述炉的另一个支座并用于密封上述炉的第2凸缘。

8.如权利要求7所述的大面积石墨烯制备设备，其特征在于，所述设备是包含下述部分的大面积石墨烯制备设备：

置于上述第1凸缘和上述炉的一个支座之间，用软性材料制成且用于密封上述炉的炉接合器。

9.如权利要求1所述的大面积石墨烯制备设备，其特征在于，所述设备是包含下述结构的大面积石墨烯制备设备：

安装于上述炉的内部或者上述气体进气口，具有多个通孔并且可用于分散气体的分散平板。

10.如权利要求1所述的大面积石墨烯制备设备，其特征在于，所述设备是包含下述结构的大面积石墨烯制备设备：

上述真空罩包含：

第1罩；

与上述第1罩用合页相连且可以开合的第2罩；以及

连接上述第1罩和上述第2罩的气缸部。