[发明专利]大面积石墨烯制备设备

权利要求书

1.一种大面积石墨烯制备设备，其特征在于，所述设备是包含下述部分的大面积石墨烯制备设备：

主机部；

安装在上述主机部的上部，一侧可与进气口相连，另一侧可与真空单元相连的箱型炉(chamber)；

安装在上述炉(chamber)的上部的第1加热器；

可调节上述第1加热器与上述炉(chamber)的相对位置的第1加热器驱动单元；

安装在上述炉(chamber)的下部的第2加热器；

以及可调节上述第2加热器与上述炉(chamber)的相对位置的第2加热器驱动单元。

2.如权利要求1所述的大面积石墨烯制备设备，其特征在于，所述设备是包含下述部分的大面积石墨烯制备设备：

上述第1加热器包含沿着与上述炉平行的第1方向排列的多个第1线型加热器，

上述第2加热器包含沿着与上述炉平行的第2方向排列的多个第2线型加热器。

3.如权利要求2所述的大面积石墨烯制备设备，其特征在于，所述设备是

上述第1方向与上述第2方向垂直的大面积石墨烯制备设备。

4.如权利要求2所述的大面积石墨烯制备设备，其特征在于，所述设备是包含下述部分的大面积石墨烯制备设备：

用于有选择性地驱动上述多个第1线型加热器的第1电源驱动部；

以及用于有选择性地驱动上述多个第2线型加热器的第2电源驱动部。

5.如权利要求4所述的大面积石墨烯制备设备，其特征在于，所述设备是

上述第1电源驱动部与上述第2电源驱动部可相互独立地进行驱动的大面积石墨烯制备设备。

6.如权利要求1所述的大面积石墨烯制备设备，其特征在于，所述设备是

上述第1加热器驱动单元和上述第2加热器驱动单元可以相互独立地进行驱动的大面积石墨烯制备设备。

7.如权利要求1所述的大面积石墨烯制备设备，其特征在于，

上述炉包含

用于形成外围面的周壁部；

附着在上述周壁部的上面，用石英制成并可使上述第1加热器的热辐射透射进来的第1平板；

以及附着在上述周壁部的下面，用石英制成并可使上述第2加热器的热辐射透射进来的第2平板的大面积石墨烯制备设备。

8.如权利要求1所述的大面积石墨烯制备设备，其特征在于，所述设备是包含下述部分的大面积石墨烯制备设备：

安装在上述炉的内部，还包含具有多个通孔的分散平板，以便于经由上述气体进气口注入的空气得以分散。

9.如权利要求8所述的大面积石墨烯制备设备，其特征在于，所述设备是包含下述结构的大面积石墨烯制备设备：

越靠近上述分散平板的边缘部分，上述通孔的个数就越多。

10.如权利要求8所述的大面积石墨烯制备设备，其特征在于，所述设备是包含下述结构的大面积石墨烯制备设备：

还包含可以从装置外部调节上述分散平板的位置的移动单元。