[发明专利]带式工质供给激光烧蚀微推力器

权利要求书

1.一种带式工质供给激光烧蚀微推力器，其特征在于，包括：所述带式工质、工质供给组件和激光组件，所述激光组件产生激光并将所述激光聚焦到聚焦光斑；所述工质供给组件包括绞盘装置，所述带式工质缠绕在所述绞盘装置上，并随所述绞盘装置的转动，所述带式工质作单向线性运动地通过所述聚焦光斑发生烧蚀。

2.根据权利要求1所述的带式工质供给激光烧蚀微推力器，其特征在于，所述绞盘装置包括主动绞盘、从动绞盘和绞盘齿轮，所述主动绞盘的转动轴上设有所述绞盘齿轮，并通过所述绞盘齿轮驱动所述主动绞盘；所述带式工质的一端缠绕于所述主动绞盘上，并从所述主动绞盘上输出；所述带式工质的另一端缠绕于所述从动绞盘上，并输入所述从动绞盘。

3.根据权利要求2所述的带式工质供给激光烧蚀微推力器，其特征在于，所述绞盘装置还包括导向轮和阻尼轮，所述导向轮设置于所述主动绞盘的输出端，所述带式工质驱动所述导向轮；所述阻尼轮设置于所述从动绞盘的输入端，所述带式工质驱动所述阻尼轮；

优选的，所述绞盘装置还包括驱动装置，所述驱动装置驱动所述主动绞盘。

4.根据权利要求3所述的带式工质供给激光烧蚀微推力器，其特征在于，所述驱动装置包括电机和输出齿轮，所述电机的输出轴上设有所述输出齿轮，所述输出齿轮与所述绞盘齿轮传动啮合。

5.根据权利要求1所述的带式工质供给激光烧蚀微推力器，其特征在于，所述激光组件包括激光器组、聚焦镜组和喷管组，所述激光器组与所述聚焦镜组光路连接，所述激光器组产生的激光经所述聚焦镜组后形成聚焦光斑组；所述喷管组正对所述聚焦光斑组设置。

6.根据权利要求5所述的带式工质供给激光烧蚀微推力器，其特征在于，所述激光器组包括多个激光器；所述聚焦镜组包括多个聚焦镜；所述喷管组包括多个喷管；所述激光器与所述聚焦镜光路连接；所述聚焦光斑组包括多个聚焦光斑，所述喷管正对所述聚焦光斑设置；

优选的，所述激光器组中所含激光器按阵列形式排布；所述聚焦镜组中所含聚焦镜按阵列形式排布；所述喷管组中所含喷管按阵列形式排布；

优选的，所述激光器的最高出光功率为10W，激光波长为500～1000nm；

优选的，所述激光器为光纤耦合半导体激光器，所述光纤耦合半导体激光器的输出光纤芯径为60～120μm，数值孔径为0.1～0.25。

7.根据权利要求1所述的带式工质供给激光烧蚀微推力器，其特征在于，所述聚焦光斑的直径为50～100μm，功率密度为10⁵W/cm²以上；

优选的，所述带式工质包括透明基层和烧蚀层，所述透明基层与所述烧蚀层叠置；所述带式工质宽5～10mm。

8.根据权利要求7所述的带式工质供给激光烧蚀微推力器，其特征在于，所述透明基底所用材料为聚对苯二甲酸乙二醇酯，所述透明基底的厚度为90～120μm；烧蚀层所用材料为含红外吸收染料的含能聚合物聚叠氮缩水甘油醚，所述烧蚀层厚度为30～100μm。

9.根据权利要求1所述的带式工质供给激光烧蚀微推力器，其特征在于，所述带式工质供给激光烧蚀微推力器还包括控制组件，所述控制组件包括控制器；所述控制器分别与所述工质供给组件和所述激光组件控制连接；

优选的，所述带式工质供给激光烧蚀微推力器还包括壳体，所述工质供给组件设置于所述壳体内的一侧；所述激光组件设置于所述壳体内的相对侧。

10.根据权利要求9所述的带式工质供给激光烧蚀微推力器，其特征在于，所述控制组件还包括信号接口和供电接口，所述信号接口和所述供电接口分设于所述控制器的两端；所述供电接口分别与所述工质供给组件和所述激光组件供电连接；所述信号接口接收外部指令，并与所述控制器信号连接。