[发明专利]一种管状靶材的内旋转高温烧结方法在审
| 申请号： | 201810466234.3 | 申请日： | 2018-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN108409340A | 公开（公告）日： | 2018-08-17 |
| 发明（设计）人： | 舒永春;陈杰;孙本双;曾学云;刘洋 | 申请（专利权）人： | 郑州大学 |
| 主分类号： | C04B35/64 | 分类号： | C04B35/64;C04B35/453;C04B35/10 |
| 代理公司： | 北京卫智畅科专利代理事务所(普通合伙) 11557 | 代理人： | 唐维铁 |
| 地址： | 450001 河南省郑*** | 国省代码： | 河南;41 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 管状靶材 高温烧结 内旋转 烧结 素坯 制备 工业化应用 加热过程 烧结变形 素坯成型 旋转状态 加热 收缩 | ||
1.一种管状靶材的内旋转高温烧结方法，包括如下步骤：
S1、管状靶材素坯成型；
S2、加热烧结管状靶材素坯，加热过程中使所述管状靶材素坯处于旋转状态；
S3、降温，停止旋转，直至室温，得到烧结好的管状靶材。
2.根据权利要求1所述的内旋转高温烧结方法，其特征在于，所述管状靶材的材质包括氧化铟锡、氧化锌铝、氧化铟镓锌、氧化镁锌。
3.根据权利要求1所述的内旋转高温烧结方法，其特征在于，所述步骤S2中，所述管状靶材素坯围绕其中心轴旋转，旋转速度设定为9～15转/分钟。
4.根据权利要求1所述的内旋转高温烧结方法，其特征在于，所述步骤S3中，降温到300℃时停止管状靶材的旋转。
5.根据权利要求1所述的内旋转高温烧结方法，其特征在于，所述步骤S3中，降温到300℃时停止管状靶材的旋转，并停止加热。
6.根据权利要求1所述的内旋转高温烧结方法，其特征在于，所述管状靶材的长度可达480mm、外径可达360mm。
7.根据权利要求1所述的内旋转高温烧结方法，其特征在于，所述步骤S2的加热烧结在氧气气氛下进行。
8.根据权利要求1所述的内旋转高温烧结方法，其特征在于，所述步骤S2的加热保温时间设置在2～8小时之间。
9.根据权利要求1所述的内旋转高温烧结方法，其特征在于，所述步骤S2的加热温度设置在1350～1580℃之间。
10.根据权利要求1所述的内旋转高温烧结方法，其特征在于，所述步骤S2中的管状靶材素坯相对于烧结炉体旋转。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于郑州大学，未经郑州大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201810466234.3/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种防裂陶瓷的加工方法
- 下一篇：一种耐火砖及其制备方法
