[发明专利]一种自动探针测试装置及系统

说明书

本发明公开了一种自动探针测试装置，包括：侧板、底板、探头支架和移动机构，所述侧板的底部一端与所述底板的一端相连，且所述底板用于放置待测器件，所述探头支架与所述移动机构的一端固定相连，所述移动机构的另一端沿着所述侧板的轴向方向滑动连接；所述探头支架上设置有多组四针探头，每一组四针探头上至少包括一个四针探头，且所述四针探头在所述探头支架上可沿横向和纵向移动。另外，本发明还提供了一种基于该装置的自动探针测试装系统。利用本发明实施例，提高待测器件的测试效率，以及减少测试过程中进行人为的手动移动待测器件，减少器件的损坏几率。

技术领域

本发明涉及探针测试技术领域，尤其涉及一种自动探针测试装置及系统。

背景技术

探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备，适用于实验室或生产线使用。

现有的市场上的探针测试仪为单悬臂四探针测试仪，采用探头和测控电路分离的方式，只有一个探头适合于单点测试，因此，测试的点较少，且在需要对测试器件进行多点测试时，需人工移动被测器件。

可见，现有技术中的自动探测测试装置测试效率较低，且在测试过程中人为的移动待测器件容易造成器件的损坏

发明内容

本发明实施例的目的在于提供一种自动探针测试装置及系统，旨在提高待测器件的测试效率，以及减少测试过程中进行人为的手动移动待测器件，减少器件的损坏几率。具体技术方案如下：

为达到上述目的，本发明实施例提供了一种自动探针测试装置，包括：侧板、底板、探头支架和移动机构，所述侧板的底部一端与所述底板的一端相连，且所述底板用于放置待测器件，所述探头支架与所述移动机构的一端固定相连，所述移动机构的另一端沿着所述侧板的轴向方向滑动连接；所述探头支架上设置有多组四针探头，每一组四针探头上至少包括一个四针探头，且所述四针探头在所述探头支架上可沿横向和纵向移动。

本发明的优选实施方式中，所述移动机构包括：步进电机、滚珠丝杆、导杆、滑动板、连接板、测试信号电路板，所述测试信号电路板与所述步进电机通信连接，且所述步进电机与所述滚珠丝杆连接，所述滚珠丝杆与所述滑动板连接；且所述滑动板的两侧套设在所述导杆上，在所述滚珠丝杆的作用下沿着所述导杆上下滑动，所述连接板的一侧与所述滑动板固定连接，所述连接板的另一侧与所述探头支架固定连接。

本发明的优选实施方式中，所述探头支架设置有至少一个探头X轴位置调节机构和至少一个探头Y轴调节机构、至少一个滑动杆；

每一组四针探头沿Y轴分别固定在一个滑动杆上，滑动杆沿Y轴方向设置，每一组四针探头分别与一个X轴位置调节机构滑动连接，且每一个四针探头均与一个探头Y轴调节机构滑动连接。

本发明的优选实施方式中，还包括探头压力调节器，与每一个四针探头连接，且至少一个探头压力调节器与所述测试信号电路板连接，将该探头压力调节器信号反馈至测试信号电路板上。

本发明的优选实施方式中，所述探头支架设置有第一延伸部和第二延伸部，所述滑动杆的一端与所述第一延伸部滑动连接，所述滑动杆的另一端与所述第二延伸部滑动连接，所述滑动杆设置有不大于每一组四针探头对应数量个开槽，置于所述开槽中的四针探头沿着所述开槽方向进行。

本发明的优选实施方式中，每一组四针探头的个数为3个，所述滑动杆的数量为3个，且开槽数量为2个，且在所述侧板对应的外壳设上设置有显示器和按键。