[发明专利]一种用于多晶硅铸锭炉抽真空系统的智能化节能装置在审
| 申请号： | 201810456410.5 | 申请日： | 2018-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN108385162A | 公开（公告）日： | 2018-08-10 |
| 发明（设计）人： | 杨定勇;郭茂勇 | 申请（专利权）人： | 扬州晶樱光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 南京申云知识产权代理事务所(普通合伙) 32274 | 代理人： | 于贺贺;朱进 |
| 地址： | 225600 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 炉体 滑阀真空泵 抽真空系统 分路 多晶硅铸锭炉 钢丝波纹管 节能装置 连接安装 气动蝶阀 智能化 熔化 配合连接 智能控制 组件连接 止回阀 铸锭炉 备用 节约 | ||
1.一种用于多晶硅铸锭炉抽真空系统的智能化节能装置，其特征在于：包括一组炉体(1)、与每一炉体(1)配套使用并通过炉体管道(2)相连的炉体泵(3)以及一个滑阀真空泵(4)；所述的滑阀真空泵(4)通过设置的气动蝶阀组件(5)连接有滑阀真空泵管道(6)；所述的滑阀真空泵管道(6)又连接安装有分路管道(7)；而所述的分路管道(7)又连接安装有钢丝波纹管道(8)，所述的钢丝波纹管道(8)上还连接安装有第一真空快装止回阀(9)，而所述的第一真空快装止回阀(9)还连接安装有真空快装三通组件(10)，而所述的真空快装三通组件(10)的两条支路则分别连通到炉体(1)和炉体泵(3)中，并且其中与炉体泵(3)连通的支路上还安装有第二真空快装止回阀(11)；所述的滑阀真空泵管道(6)与分路管道(7)之间还安装有一主管道(12)；每一炉体(1)均配套设置有一段主管道(12)，全部的主管道(12)相连构成整体主管道。
2.根据权利要求1所述的一种用于多晶硅铸锭炉抽真空系统的智能化节能装置，其特征在于：所述滑阀真空泵(4)的气动蝶阀组件(5)与真空泵管道(6)之间还安装有真空快装止回阀(13)、真空卡箍组件(14)和波纹连接管道(15)。
3.根据权利要求1所述的一种用于多晶硅铸锭炉抽真空系统的智能化节能装置，其特征在于：所述的分路管道(7)上还安装有气动蝶阀组件(5)以及真空快装堵板(16)。
4.根据权利要求1所述的一种用于多晶硅铸锭炉抽真空系统的智能化节能装置，其特征在于：所述的主管道(12)的两端还分别安装有法兰封板(17)，相邻主管道(12)之间的法兰封板(17)对接后通过法兰盘相连构成整体主管道。
5.根据权利要求1所述的一种用于多晶硅铸锭炉抽真空系统的智能化节能装置，其特征在于：所述的钢丝波纹管道(8)上还设置有真空卡箍组件(14)用于真空快装三通组件(9)的安装。
6.根据权利要求1所述的一种用于多晶硅铸锭炉抽真空系统的智能化节能装置，其特征在于：所述的炉体(1)以及配套使用的炉体泵(3)共设置有11组；并且除了正在使用的滑阀真空泵(4)，还设置有一备用的滑阀真空泵(4)。
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