[发明专利]一种具有侧面爬锡引脚的引线框工艺方法有效
| 申请号: | 201810450061.6 | 申请日: | 2018-05-11 |
| 公开(公告)号: | CN108493118B | 公开(公告)日: | 2020-03-06 |
| 发明(设计)人: | 王伟;张灏杰;吴莉亚;张航宇 | 申请(专利权)人: | 江苏长电科技股份有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/48 | 分类号: | H01L21/48 |
| 代理公司: | 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 | 代理人: | 赵海波;孙燕波 |
| 地址: | 214400 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 具有 侧面 引脚 引线 工艺 方法 | ||
1.一种具有侧面爬锡引脚的引线框工艺方法,其特征在于所述方法包括以下步骤:
步骤一、冷轧钢板表面预镀铜;
步骤二、在表面预镀铜的冷轧钢板正面和背面覆盖第一感光膜;
步骤三、曝光显影,露出需要电镀的区域;
步骤四、一次电镀形成第一金属线路图形;
步骤五、在第一金属线路层表面覆盖第二感光膜;
步骤六、曝光显影,露出需要电镀的区域;
步骤七、二次电镀形成第二金属线路图形,第二金属线路层包含引脚和基岛;
步骤八、去除第一感光膜和第二感光膜;
步骤九、在冷轧钢板正面和背面印刷湿膜,烘烤使湿膜转变为固态;
步骤十、曝光显影,去掉不需要保护区域的固态湿膜;
步骤十一、在冷轧钢板背面进行包封、固化作业;
步骤十二、对包封固化后的冷轧钢板背面减薄框架厚度;
步骤十三、在冷轧钢板正面和背面覆盖第三感光膜;
步骤十四、曝光显影,露出需要蚀刻的区域;
步骤十五、冷轧钢板蚀刻窗口,将第一金属线路图形露出来;
步骤十六、去除感光膜和固态湿膜,然后镀有机保焊膜(OSP)。
2.根据权利要求1所述的一种具有侧面爬锡引脚的引线框工艺方法,其特征在于:步骤二、步骤五和步骤十三中的感光膜为感光干膜或感光湿膜。
3.根据权利要求1所述的一种具有侧面爬锡引脚的引线框工艺方法,其特征在于:步骤十六中镀有机保焊膜(OSP)的方式采用将引线框浸泡在有机保焊膜(OSP)溶液中,在引线框露出的金属表面镀上一层有机保焊膜(OSP)。
4.根据权利要求1所述的一种具有侧面爬锡引脚的引线框工艺方法,其特征在于:步骤十六中镀有机保焊膜(OSP)可采用电镀镍金或镍钯金替代。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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