[发明专利]一种铝碳化硅材料的镀Ni方法在审

专利信息
申请号: 201810448222.8 申请日: 2018-05-11
公开(公告)号: CN108588691A 公开(公告)日: 2018-09-28
发明(设计)人: 刘波波;何娟 申请(专利权)人: 西安朗赛精密机械有限公司
主分类号: C23C18/32 分类号: C23C18/32;C23C14/18;C23C18/16;C23C18/18;C23C28/02
代理公司: 西安通大专利代理有限责任公司 61200 代理人: 高博
地址: 710061 陕西省西安市曲江新区雁塔*** 国省代码: 陕西;61
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摘要:
搜索关键词: 铝碳化硅 镀膜 光学显微镜观察 物理气相沉积法 致密 化学镀镀膜 环境无污染 热处理 起泡 镀层光亮 烘烤 镀层 剥落 清洗 平整
【权利要求书】:

1.一种铝碳化硅材料的镀Ni方法,其特征在于,采用过多层镀Ni方式,先将铝碳化硅基材(5)置于真空中采用物理气相沉积法在铝碳化硅基材(5)表面的铜打底层(4)上镀膜制备第二镍磷打底层(3),接着在第二镍磷打底层(3)上进行激活反应后以Ni-P打底制备第一镍磷打底层(2),打底前和打底后均进行清洗,最后在第一镍磷打底层(2)表面采用化学镀完成镍磷可焊层(1),镀膜完成后进行烘烤热处理完成镀Ni。

2.根据权利要求1所述的一种铝碳化硅材料的镀Ni方法,其特征在于,制备第二镍磷打底层(3)的具体过程为:将硫酸镍、磷酸和浓度40%氢氟酸配制成镀镍溶液,控制温度19~30℃,激活反应时间20~60Sec,然后进行化学镀镍磷20~80分钟完成浸镍,镀完后进行水洗。

3.根据权利要求2所述的一种铝碳化硅材料的镀Ni方法,其特征在于,硫酸镍、磷酸和40%氢氟酸的质量比为1:1:(1.5~2)。

4.根据权利要求1所述的一种铝碳化硅材料的镀Ni方法,其特征在于,制备第一镍磷打底层(2)的具体过程为:将氯化镍、硼氢化钠和乙二胺配置成溶液,控制温度50~90℃,时间20~60分钟,进行化学镀镍磷,镀完进行水洗。

5.根据权利要求4所述的一种铝碳化硅材质的镀Ni方法,其特征在于,氯化镍、硼氢化钠和乙二胺的质量比为1:2:1。

6.根据权利要求1所述的一种铝碳化硅材料的镀Ni方法,其特征在于,采用化学镀完成镍磷可焊层(1)制备的具体过程为:将硫酸镍、磷酸和40%氢氟酸配制成镀镍溶液,控制温度19~30℃,时间60~120min进行化学镀制备镍磷可焊接层(1)。

7.根据权利要求6所述的一种铝碳化硅材料的镀Ni方法,其特征在于,硫酸镍、磷酸和40%氢氟酸的质量比为1:1:(1.5~2)。

8.根据权利要求1所述的一种铝碳化硅材料的镀Ni方法,其特征在于,第二镍磷打底层(3)的厚度为1~5um,铜打底层(4)的厚度为1~3um,第一镍磷打底层(2)的厚度为1~3um,镍磷可焊层(1)的厚度为5~10um。

9.根据权利要求1所述的一种铝碳化硅材料的镀Ni方法,其特征在于,清洗具体为:先通过40g/L的丙酮除油剂除油并干燥;然后在30~70℃水洗1~10min,通过弱酸盐进行清洗,去污活化表面,温度19~30℃,时间20~50Sec。

10.根据权利要求1所述的一种铝碳化硅材料的镀Ni方法,其特征在于,将镀完的样品在100~200℃的温度下进行加热处理60~120min完成烘烤。

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