[发明专利]一种全氧化物软硬磁复合薄膜(NZFO/SLCFO)3/Al2O3的制备方法

权利要求书

1.一种全氧化物软硬磁复合薄膜(NZFO/SLCFO)₃/Al₂O₃的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

S1、将可溶性的镍盐、锌盐、铁盐分别溶于溶剂中后，混合均匀，加入表面活性剂，经加热搅拌和静置后制得Ni_0.7Zn_0.3Fe₂O₄前驱胶体；

S2、将可溶性的锶盐、镧盐、铁盐、钴盐分别溶于溶剂中后，混合均匀，加入表面活性剂，经加热搅拌和静置后制得Sr_0.8La_0.2Fe_11.8Co_0.2O₁₉前驱胶体；

S3、将Sr_0.8La_0.2Fe_11.8Co_0.2O₁₉前驱胶体旋涂到Al₂O₃(001)衬底材料上，经干燥和空气气氛退火处理后，再旋涂Ni_0.7Zn_0.3Fe₂O₄前驱胶体，经干燥和空气气氛退火处理制得预制料A；

S4、将预制料A按S3步骤重复2次制得预制料B，再经升温退火处理制得全氧化物软硬磁复合薄膜(NZFO/SLCFO)₃/Al₂O₃。

2.根据权利要求1所述全氧化物软硬磁复合薄膜(NZFO/SLCFO)₃/Al₂O₃的制备方法，其特征在于，S1中可溶性的镍盐、锌盐、铁盐中镍、锌、铁摩尔比为0.65-0.75：0.25-0.35：1.9-2.0；优选地，可溶性的镍盐、锌盐、铁盐分别为硝酸镍、硝酸锌、柠檬酸铁。

3.根据权利要求1所述全氧化物软硬磁复合薄膜(NZFO/SLCFO)₃/Al₂O₃的制备方法，其特征在于，S2中可溶性的锶盐、镧盐、铁盐、钴盐中锶、镧、铁、钴摩尔比为0.75-0.85：0.15-0.25：11.5-12.1：0.15-0.25：18.5-19.5；优选地，可溶性的锶盐、镧盐、铁盐、钴盐分别为硝酸锶、硝酸镧、柠檬酸铁、硝酸钴。

4.根据权利要求1所述全氧化物软硬磁复合薄膜(NZFO/SLCFO)₃/Al₂O₃的制备方法，其特征在于，S1和S2中溶剂为单甲基二乙醚水溶液。

5.根据权利要求1所述全氧化物软硬磁复合薄膜(NZFO/SLCFO)₃/Al₂O₃的制备方法，其特征在于，S1和S2中表面活性剂为聚乙二醇，优选为分子量为18000-22000的聚乙二醇。

6.根据权利要求1所述全氧化物软硬磁复合薄膜(NZFO/SLCFO)₃/Al₂O₃的制备方法，其特征在于，S1和S2中加热温度为30-70℃；优选地，S1和S2中静置时间为1-90d。

7.根据权利要求1所述全氧化物软硬磁复合薄膜(NZFO/SLCFO)₃/Al₂O₃的制备方法，其特征在于，S3中干燥温度为70-90℃，干燥时间为2-10min。

8.根据权利要求1所述全氧化物软硬磁复合薄膜(NZFO/SLCFO)₃/Al₂O₃的制备方法，其特征在于，S3中退火温度250-350℃，退火时间10-30min。

9.根据权利要求1所述全氧化物软硬磁复合薄膜(NZFO/SLCFO)3/Al2O3的制备方法，其特征在于，S4中升温退火温度为850-950℃，退火时间为30-60min。