[发明专利]物料灌装装置

说明书

本发明涉及物料灌装装置，包括待灌装的容器、物料输送管路系统、真空管路系统、尾气管路系统以及氮气管路系统，物料输送管路系统将物料源与容器连接，尾气管路系统、真空管路系统以及氮气管路系统与物料输送管路系统和容器连通；物料输送管路系统包含物料输送管路以及设置于物料输送管路上的第一阀门，物料输送管路的物料入口端连接至物料源，所述物料输送管路的物料出口端连接至容器的物料入口，一控制装置与第一阀门连接并控制所述第一阀门的开闭。使物料的灌装作业能够在普通环境中进行，为物料的灌装提供安全的气体氛围，实现物料的安全灌装，不受手套箱等附加设备的限制，操作便捷、安全。

技术领域

本发明涉及一种物料灌装装置，属于化工设备技术领域。

背景技术

MO源即高纯金属有机化合物，是采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)技术进行外延生长时的支撑材料，如GaAs、GaN、InP、AlGaAs等化合物半导体超薄型膜材料，可用来生产LED外延片、HEMT器件、半导体激光器、太阳能电池等；是发展光电子产业的关键材料之一，也是生产高亮度、超高亮度发光材料及大规模集成电路的必备原料。MO源具有非常活泼的化学性质，对空气和水汽极为敏感，在空气中会瞬间自燃，遇水则发生猛烈爆炸。因此，MO源的灌装需要在密闭且无O₂、无H₂O的环境下进行。

现有技术中，公知的MO源灌装方式是在无氧无水惰性气氛手套箱内灌装。手套箱是将高纯惰性气体充入箱体内，并循环过滤掉其中的活性物质的实验室设备，其主要由主箱体、过渡室两部分组成。主箱体上有两个或两个以上手套操作接口，以便于操作者操作。另外，在箱体的前面或前后设有观察窗，操作者能够清楚地观察到箱体内的操作过程，使得操作过程直观地展现在操作者的眼前。在灌装的过程中，由于MO源的部分种类具有极易挥发的特性，因此，容易使得手套箱内充斥气态MO源，这使得手套箱中的吸附物(如有机溶剂吸附柱)大量被消耗，需要频繁更换。

随着市场经济的快速发展、电子技术应用领域的日益扩大，MO源的市场需求量大幅度增加，用于灌装MO源的钢瓶的规格也随之不断放大，由最初的500g、1000g放大到8kg、16kg，甚至更大，由于灌装之后的钢瓶较重，因此在人工移动钢瓶的过程中，钢瓶容易滑脱从而损坏手套箱，进而有可能引发MO源燃烧，这使得手套箱内纯手工操作变得更加困难，存在较大的安全隐患。

由此可见，传统的人工灌装方式已难以满足需求。

发明内容

本发明的目的是克服现有技术存在的不足，提供一种物料灌装装置，在不需要手套箱等附加设备的情况下，能够对物料进行安全灌装。

本发明的目的通过以下技术方案来实现：

物料灌装装置，特点是：包括待灌装的容器、物料输送管路系统、真空管路系统、尾气管路系统以及氮气管路系统，所述物料输送管路系统将物料源与容器连接，所述尾气管路系统、真空管路系统以及氮气管路系统与物料输送管路系统和容器连通；

所述物料输送管路系统包含物料输送管路以及设置于物料输送管路上的第一阀门，所述物料输送管路的物料入口端连接至物料源，所述物料输送管路的物料出口端连接至容器的物料入口，一控制装置与第一阀门连接并控制所述第一阀门的开闭。

进一步地，上述的物料灌装装置，其中，所述第一阀门为气动阀，气动阀与一电磁阀连接，控制装置与电磁阀电连接并通过电磁阀控制气动阀的开闭。

进一步地，上述的物料灌装装置，其中，物料输送管路与容器之间安装一个质量流量计，质量流量计连接控制装置，将质量信号传递给控制装置，当质量信号指示容器的重量达到预定值时，控制装置控制第一阀门关闭。