[发明专利]一种用于碲锌镉晶片磨削的树脂砂轮、其制备方法及应用

权利要求书

1.一种用于碲锌镉晶片磨削的树脂砂轮，其特征在于，该砂轮由下述体积份数的原料制备而成：金刚石10-20份，碳化硅2-5份，偶联剂5-10份，造孔剂0.5-2份，球形二氧化硅8-15份，酚醛树脂12-18份；

金刚石粒度是4-6μm；碳化硅粒度是0.5μm-2μm；球形二氧化硅为空心结构，其中值是0.9μm；造孔剂为可膨胀微球，型号是DU152；

偶联剂为γ-氨丙基三乙氧基硅烷；

酚醛树脂型号是PR-55730；

所述用于碲锌镉晶片磨削的树脂砂轮，通过以下步骤制备得到：

（1）将过筛后的碳化硅与空心球形二氧化硅混合，得混合粉料I；

（2）将碱处理后的金刚石与偶联剂加入丙酮中超声处理15-25min，烘干，再与过筛后的酚醛树脂和造孔剂依次混合过筛，得混合粉料II；

（3）将步骤（1）中的混合粉料I与步骤（2）中混合粉料II混合后过筛，得混合粉料III；将混合粉料III球磨1-3h，过筛，制得成型料；

（4）将步骤（3）中的成型料进行模具组装、投料，并热压成环形，冷却，脱模，制成成品砂轮。

2.如权利要求1所述的用于碲锌镉晶片磨削的树脂砂轮，其特征在于，该砂轮由下述体积份数的原料制备而成：金刚石12份，碳化硅3份，偶联剂8份，造孔剂1份，球形二氧化硅15份，酚醛树脂15份，金刚石粒度为4μm，碳化硅粒度为2μm。

3.如权利要求1所述的用于碲锌镉晶片磨削的树脂砂轮，其特征在于，步骤（2）中的酚醛树脂过筛前球磨72-120h。

4.如权利要求1所述的用于碲锌镉晶片磨削的树脂砂轮，其特征在于，步骤（2）中碱处理是指用80-90℃条件下10-50%质量分数的NaOH或10-50%质量分数的KOH处理。

5.如权利要求1所述的用于碲锌镉晶片磨削的树脂砂轮，其特征在于，步骤（3）中刚玉陶瓷球与混合粉料III的重量比为1:2或1:3。

6.如权利要求1所述的用于碲锌镉晶片磨削的树脂砂轮，其特征在于，步骤（4）中所述热压工艺为将成型料升温至180-200℃，然后在初始压力1.8-2.2Mpa的条件下保温保压1-3min，再升压至5.8-6.2Mpa，然后保温保压60-80min后成环形。

7.权利要求1-6任一所述用于碲锌镉晶片磨削的树脂砂轮在碲锌镉晶片磨削中的应用。