[发明专利]镧系金属掺杂二氧化铈纳米磨粒的制备方法和应用有效
| 申请号： | 201810440980.5 | 申请日： | 2018-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN108410424B | 公开（公告）日： | 2020-07-10 |
| 发明（设计）人： | 程洁;李杨;路新春 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;C09G1/02 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 赵天月 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 金属 掺杂 氧化 纳米 制备 方法 应用 | ||
【权利要求书】：
1.一种化学机械抛光方法，其特征在于，向抛光液中加入镧系金属掺杂的二氧化铈纳米磨粒，所述镧系金属掺杂的二氧化铈纳米磨粒的制备方法包括：
(1)测量二氧化铈纳米粉体的吸水率；
(2)配制镧系金属硝酸盐溶液，并对所述二氧化铈纳米粉体进行等体积浸渍、陈化、烘干、焙烧和研磨，以便得到所述镧系金属掺杂的二氧化铈纳米磨粒，其中，所述陈化是在密闭条件下进行12h完成，所述二氧化铈纳米磨粒中负载的镧系金属为元素镱，所述元素镱的负载量为1wt％，烘干温度100℃，焙烧温度为400℃，升温速度5℃/min；
(3)将磨粒加入抛光液的方法为：将一定量的磨粒加入去离子水中，超声分散20min，使用KOH/HCl调节抛光液pH值，抛光液在化学机械抛光过程中使用磁力搅拌器持续搅拌，其中，磨粒在抛光液中的含量为0.25％，抛光压力为2psi，抛光液pH为9.5。
2.根据权利要求1所述的抛光方法，其特征在于，所述镧系金属硝酸盐为五水合硝酸镱。
3.根据权利要求1所述的抛光方法，其特征在于，所述镧系金属硝酸盐溶液的浓度为0.23mol/L-2.9mol/L。
4.根据权利要求1所述的抛光方法，其特征在于，采用所述镧系金属掺杂的二氧化铈纳米磨粒进行所述化学机械抛光的介质材料为二氧化硅、氮化硅或碳化硅。
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