[发明专利]一种新型单晶硅片制绒添加剂的制造及简单制绒方法

权利要求书

1.一种新型单晶硅片制绒添加剂，其特征在于，其中包含的组分为鼠李糖、双子表面活性剂、谷胱甘肽、邻苯二酚、乙二醇、氯化钡和去离子水。

2.根据权利要求1所述的新型单晶硅片制绒添加剂，其特征在于，所述的单晶硅片制绒添加剂中各组分的质量百分数为：鼠李糖1%～10%、双子表面活性剂0.5%～5%、谷胱甘肽3%～10%、邻苯二酚2%～15%、乙二醇0.1%～3%、氯化钡0.3%～5%，余量为水。

3.根据权利要求的1所述的新型单晶硅片制绒添加剂，其特征在于，所述的双子表面活性剂是双十烷基二甲基溴化铵、双十二烷基二甲基溴化铵中的一种或两种。

4.用于单晶硅片制绒的制绒液，其特征在于，其含有碱溶液和权利要求1-3中所述的任意一项制绒添加剂，所述的单晶硅片制绒添加剂与碱溶液的体积比为0.5～3:100。

5.根据权利要求4所述的制绒液，其特征在于，所含的碱溶液为质量百分比为0.1～5的氢氧化钠水溶液。

6.单晶硅片的简单制绒方法，其特征在于，采用权利要求4的制绒液对单晶硅片表面进行制绒。

7.根据权利要求6所述的单晶硅片简单制绒方法，其特征在于，所述的制绒方法的制绒温度为75～85 ℃，制绒时间为300～900 s。

8.根据权利要求6所述的单晶硅片制绒方法，其特征在于，其具体步骤包括：

(1) 配制制绒添加剂：鼠李糖1%～10%、双子表面活性剂0.5%～5%、谷胱甘肽3%～10邻苯二酚2%～15%、乙二醇0.1%～3%、氯化钡0.3%～5%加入到余量的去离子水中，混合均匀配制成制绒添加剂；

(2) 配制制绒液：将(1)所述制绒添加剂加入到碱溶液中，混合均匀配制成制绒剂；所述的制绒添加剂与碱溶液的体积比为0.5～3:100；所述的碱溶液为质量百分比为0.1～5的氢氧化钠水溶液；

(3) 将单晶硅片浸没于(2)所述的制绒液中进行硅片表面的制绒，制绒温度为75～85℃，制绒时间为300～900 s。