[发明专利]一种激光器腔内颗粒检排装置

说明书

本发明涉及激光器技术领域，公开了一种激光器腔内颗粒检排装置，该装置包括：紫外灯、吸嘴和吸尘器；紫外灯发出紫外光用于肉眼直观检查发现腔内颗粒，紫外灯的光线照射在吸嘴的前端，吸嘴的后端与吸尘器相连，吸嘴呈细长状，吸嘴内部具有第一通道，第一通道从吸嘴的前端至后端贯穿吸嘴，第一通道与吸尘器的吸入口相连通。本发明提供的一种激光器腔内颗粒检排装置，设置紫外灯在腔内产生荧光，可用肉眼直观检查发现腔内微颗粒；设置吸嘴可深入狭窄空间，对器件表面的微颗粒进行近距离强吸引力排除；通过使紫外光照射在吸嘴的前端范围，可使吸嘴准确的抵达微颗粒处进行精准排除，提高检排效果；从而确保激光器腔内洁净，保障激光器可靠性。

技术领域

本发明涉及激光器技术领域，特别是涉及一种激光器腔内颗粒检排装置。

背景技术

当前，高功率(超高功率)激光器在工业和军事领域的应用越来越广泛，其造价高、结构复杂维修周期长，因此高功率激光器的可靠性指标越来越重要。然而，高功率激光器中光学器件表面承载着极高的激光功率密度，当光学器件表面吸附激光器的腔内微颗粒后将会引起热局部急剧堆积，从而导致光学器件表面镀制的膜损伤或者光束质量恶化，降低高功率激光器的可靠性。

现有激光器的腔内微颗粒排除技术主要有：吸尘器排除技术，用强风力吸尘器排除激光器的腔内微颗粒；高纯气体置换技术，用高纯气体(如氮气)置换激光器的腔内气体排除悬浮微颗粒；安装辅助排除设备技术，在激光腔内安装静电等装置用于排除激光腔内微颗粒。

但是，针对高功率(超高功率)激光器，上述现有激光器的腔内微颗粒排除技术存在不足：首先，因高功率激光器的腔内器件多、结构复杂、空间狭小、部分器件表面有粘附力，而现有技术无法伸到部分器件表面进行近距离强吸引力排除，导致部分腔内微颗粒排除难；其次，上述腔内微颗粒排除技术无法直观检测发现激光器的腔内微颗粒，尤其是那些肉眼不可见的微颗粒更无法直观确保排除彻底。高功率激光器在使用过程中，那些未被彻底排除的腔内微颗粒随机运动后有一定几率吸附到光学器件表面镀制的膜上，同时也存在腔内微颗粒在排除过程中因外界扰动飘逸吸附到光学器件表面镀制的膜上的情况，激光器的可靠性难保障。

现有的针对高功率(超高功率)激光器腔内微颗粒排除技术大多存在无法对内部器件表面进行近距离强吸引力排除微颗粒的技术问题，以及无法直观检查确保腔内微颗粒排除彻底的技术问题。

发明内容

(一)要解决的技术问题

本发明的目的是提供一种激光器腔内颗粒检排装置，用于解决或部分解决现有的针对高功率(超高功率)激光器腔内微颗粒排除技术大多存在无法对内部器件表面进行近距离强吸引力排除微颗粒，以及无法直观检查确保腔内微颗粒排除彻底的技术问题。

(二)技术方案

为了解决上述技术问题，本发明提供一种激光器腔内颗粒检排装置，该装置包括：紫外灯、吸嘴和吸尘器；所述紫外灯发出紫外光用于肉眼直观检查发现腔内颗粒，所述紫外灯的光线照射在所述吸嘴的前端，所述吸嘴的后端与所述吸尘器相连，所述吸嘴呈细长状，所述吸嘴内部具有第一通道，所述第一通道从所述吸嘴的前端至后端贯穿所述吸嘴，所述第一通道与所述吸尘器的吸入口相连通。

在上述方案的基础上，所述吸尘器为风力与静电力混合吸尘器、用于排除固定激光器腔内颗粒，所述吸尘器内部设置电动抽风机和高压电场，所述电动抽风机用于产生强风吸引力，所述高压电场用于产生静电吸附力。

在上述方案的基础上，所述吸尘器内部设置低效过滤网状结构，所述低效过滤网状结构用于对吸引的颗粒进行过滤拦截。

在上述方案的基础上，一种激光器腔内颗粒检排装置还包括：操作手柄；所述操作手柄的一端与所述吸嘴的后端相连，所述操作手柄的另一端通过软管与所述吸尘器相连，所述操作手柄内部具有第二通道，所述第一通道、第二通道以及软管相连通。