[发明专利]一种湿式制程设备水槽抑菌处理装置

说明书

一种湿式制程设备水槽抑菌处理装置，包括水槽、玻璃中空管、紫外灯管和上盖，所述水槽为矩形槽，水槽的上表面设有圆形开槽，圆形开槽外缘设有环状阶梯槽，玻璃中空管为圆柱形管腔，玻璃中空管的下端密封，上端开口，且上端设有突出的环状卡环，玻璃中空管竖直安装在水槽的开槽上，环状卡环与环状阶梯槽卡合，紫外灯管为圆柱体，且插入玻璃中空管的管腔中，上盖为圆盘形塑胶盖，上盖压合在环状阶梯槽上，紫外灯管接入湿式制程设备的供电线路中。利用紫外灯管工作时发出的紫外光线，对水槽内的水和其中滋生的微生物细菌等进行抑菌杀菌处理，有效抑菌杀菌处理的同时，避免了人工清洗的费时费力，保证水质的同时，有效防止造成管线污染及产品污染。

技术领域

本发明涉及湿式制程设备领域，尤其涉及一种湿式制程设备水槽抑菌处理装置。

背景技术

湿式制程机台在半导体封装产业已是成熟发展，循环水槽体积较大，水槽槽体上部仍存有部分空间存留室内空气,长期使用后会发生菌体繁殖情况，影响水质并将稠状菌体带入管线内,造成管线污染及产品污染。目前处理方式为将管线拆除及槽内排水,人员擦拭清理排除，这种方式较为费时费力，效率较为低下，且影响正常的设备使用。

发明内容

本发明正是针对现有技术存在的不足，提供了一种湿式制程设备水槽抑菌处理装置。

为解决上述问题，本发明所采取的技术方案如下：

一种湿式制程设备水槽抑菌处理装置，包括水槽、玻璃中空管、紫外灯管和上盖，所述水槽为矩形槽，水槽的上表面设有圆形开槽，圆形开槽外缘设有环状阶梯槽，玻璃中空管为圆柱形管腔，玻璃中空管的下端密封，上端开口，且上端设有突出的环状卡环，玻璃中空管竖直安装在水槽的开槽上，环状卡环与环状阶梯槽卡合，紫外灯管为圆柱体，且插入玻璃中空管的管腔中，上盖为圆盘形塑胶盖，上盖压合在环状阶梯槽上，紫外灯管接入湿式制程设备的供电线路中。

进一步的，所述上盖的中部设有圆形通孔，圆形通孔的直径比玻璃中空管的直径小，圆形通孔周边环状均匀分布有小孔，且小孔位于玻璃中空管与紫外灯管的间隙处上方。

进一步的，所述水槽外部设有时间继电器，时间继电器接入紫外灯管与供电线路之间。

进一步的，所述玻璃中空管的长度至少为水槽高度的一半，紫外灯管的长度比玻璃中空管长度长。

进一步的，所述水槽上至少安装一组玻璃中空管、紫外灯管和上盖。

本发明与现有技术相比较，本发明的有益效果如下：

本发明所述的一种湿式制程设备水槽抑菌处理装置，通过在水槽上安装玻璃中空管和紫外灯管，利用紫外灯管工作时发出的紫外光线，对水槽内的水和其中滋生的微生物细菌等进行抑菌杀菌处理，有效抑菌杀菌处理的同时，避免了人工清洗的费时费力，保证水质的同时，有效防止造成管线污染及产品污染。

附图说明

图1为本发明所述的一种湿式制程设备水槽抑菌处理装置安装结构示意图；

图2为图1的俯视图示意图。

具体实施方式

下面将结合具体的实施例来说明本发明的内容。

如图1和图2所示，所述的一种湿式制程设备水槽抑菌处理装置，包括水槽1、玻璃中空管2、紫外灯管3和上盖4，所述水槽1为矩形槽，水槽1的上表面设有圆形开槽，圆形开槽外缘设有环状阶梯槽5，玻璃中空管2为圆柱形管腔，玻璃中空管2的下端密封，上端开口，且上端设有突出的环状卡环6，玻璃中空管2竖直安装在水槽1的开槽上，环状卡环6与环状阶梯槽5卡合，紫外灯管3为圆柱体，且插入玻璃中空管2的管腔中，上盖4为圆盘形塑胶盖，上盖4压合在环状阶梯槽5上，紫外灯管3接入湿式制程设备的供电线路中。