[发明专利]有机蒸气喷射印刷设备

权利要求书

1.一种有机蒸气喷射印刷OVJP设备，其包含：

OVJP印刷头；

第一电容式传感器，所述第一电容式传感器以物理方式与所述OVJP印刷头连接；

第二电容式传感器，所述第二电容式传感器以物理方式与所述OVJP印刷头连接；平台位置调节器，所述平台位置调节器被配置成调节所述OVJP印刷头和安置于所述OVJP印刷头下方的衬底的相对水平对齐；以及

处理电路，所述处理电路与所述第一电容式传感器、所述第二电容式传感器和所述平台位置调节器信号通信并且被配置成基于由所述第一电容式传感器提供的信号而向所述平台位置调节器提供控制信号。

2.根据权利要求1所述的OVJP设备，其中所述平台位置调节器相对于所述衬底移动所述OVJP印刷头。

3.根据权利要求1所述的OVJP设备，其中所述平台位置调节器相对于所述OVJP印刷头移动所述衬底。

4.根据权利要求1所述的OVJP设备，其中所述第一电容式传感器包含：

第一梳状件，所述第一梳状件包含第一多个导电电极与第一共用总线连接。

5.根据权利要求4所述的OVJP设备，其中所述第一电容式传感器进一步包含：

第二梳状件，所述第二梳状件包含第二多个导电电极与第二共用总线连接，其中所述第二多个导电电极与所述第一多个导电电极相间错杂。

6.根据权利要求5所述的OVJP设备，其进一步包含一或多个电流源，所述电流源与所述第一梳状件和所述第二梳状件电通信并且被配置成向所述第一和所述第二梳状件中的每一个提供激发信号，并且其中向所述第一和所述第二梳状件提供的所述激发信号同相。

7.根据权利要求1所述的OVJP设备，其中所述第二电容式传感器包含：

第一梳状件，所述第一梳状件包含第一多个导电电极与第一共用总线连接。

8.根据权利要求7所述的OVJP设备，其中所述第二电容式传感器进一步包含：

第二梳状件，所述第二梳状件包含第二多个导电电极与第二共用总线连接，其中所述第二多个导电电极与所述第一多个导电电极相间错杂。

9.根据权利要求7所述的OVJP设备，其中所述第二电容式传感器进一步包含第二梳状件，所述第二梳状件包含第二多个导电电极与第二共用总线连接，其中所述第二电容式传感器安置于所述第一电容式传感器的一个梳状件长度内并且相对于所述第一电容式传感器横向偏移，以使得在对齐放置的情况下，所述第一和所述第二梳状件将形成相间错杂结构。

10.根据权利要求1所述的OVJP设备，其中所述OVJP印刷头定位于所述第一电容式传感器与所述第二电容式传感器之间。

11.根据权利要求10所述的OVJP设备，其中相对于所述OVJP印刷头跨所述衬底运动的印刷方向，所述第一电容式传感器定位于所述OVJP印刷头前方。

12.根据权利要求1所述的OVJP设备，其中所述处理电路操作所述平台位置调节器以维持所述OVJP印刷头与安置于所述衬底上的轨线对齐，同时操作所述OVJP印刷头以将材料沉积在所述衬底上。

13.根据权利要求1所述的OVJP设备，其中所述处理电路提供实时闭环反馈系统以维持所述OVJP印刷头与安置于所述衬底上的轨线对齐。

14.根据权利要求1所述的OVJP设备，其中所述设备进一步包括与所述第一电容式传感器和/或所述第二电容式传感器安置在平面中的第一电极，其中所述平台位置调节器被进一步配置为基于所述第一电极的电容测量值以调节所述OVJP印刷头和所述衬底之间的相对间隔。