[发明专利]一种透明材料表面及内部缺陷的检测方法和检测系统

权利要求书

1.一种透明材料表面及内部缺陷的检测系统，其特征在于，包括光学测量系统、光学分析系统和彩色共焦数据处理程序，其中：

光学测量系统包括复色光源、光源针孔、准直透镜、色散管镜、分光镜、物镜、可实现三维移动的载物台、会聚透镜、检测针孔和输出光纤，所述复色光源发出的光依次经所述光源针孔、所述准直透镜、所述色散管镜、所述分光镜和所述物镜传输到放置于所述载物台上的被测透明材料，所述被测透明材料的反射光依次经过所述物镜、所述分光镜、所述会聚透镜、所述检测针孔和所述输出光纤输出；

所述光学分析系统包括光谱仪，所述输出光纤的输出端连接所述光谱仪；所述光学分析系统用于接收被测透明材料的表面及内部的缺陷的反射光；

所述彩色共焦数据处理程序用于对所述光学分析系统获取的反射光进行分析以获取反射峰对应的波长值，再对反射峰对应的波长值进行处理以获取被测透明材料的表面及内部缺陷信息。

2.根据权利要求1所述的一种透明材料表面及内部缺陷的检测系统，其特征在于：所述复色光源为卤素灯光源。

3.根据权利要求1所述的一种透明材料表面及内部缺陷的检测系统，其特征在于：所述彩色共焦数据处理程序具体用于根据所述反射峰对应的波长值的中心波长值的提取。

4.根据权利要求3所述的一种透明材料表面及内部缺陷的检测系统，其特征在于：所述彩色共焦数据处理程序还用于根据预先提取的所述中心波长值，建立中心波长和标定好的轴向高度信息的关系以获取所述透明材料内部缺陷的深度信息。

5.根据权利要求3所述的一种透明材料表面及内部缺陷的检测系统，其特征在于：所述彩色共焦数据处理程序还用于根据预先建立的中心波长和标定好的轴向高度信息的关系进行计算时，对干扰表面的反射光的影响进行消除处理。

6.根据权利要求3所述的一种透明材料表面及内部缺陷的检测系统，其特征在于：所述的彩色共焦数据处理程序还用于在获取所述透明材料内部缺陷深度信息的同时，对透明材料内部缺陷的横向信息的获取。

7.一种透明材料表面及内部缺陷的检测方法，其特征在于，通过如下步骤实现：

S1：复色光源发出的光依次经光源针孔、准直透镜、色散管镜、分光镜和物镜传输到放置于可实现三维移动的载物台上的被测透明材料；

S2：所述物镜接收所述被测量透明材料的反射光，并依次由所述分光镜、会聚透镜、检测针孔和输出光纤传输到光学分析系统；

S3:由所述光学分析系统接收所述被测透明材料的表面及内部的缺陷的反射光；

S4：彩色共焦数据处理程序用于对所述光学分析系统获取的反射光进行分析以获取反射峰对应的波长值，再对反射峰对应的波长值进行处理以获取被测透明材料的内部缺陷。

8.根据权利要求7所述的一种透明材料表面及内部缺陷的检测方法，其特征在于：所述彩色共焦数据处理程序根据所述反射峰对应的波长值获取所述被测透明材料的表面及内部缺陷信息包括：

所述彩色共焦数据处理程序根据所述反射峰对应的波长值提取出中心波长值；

所述彩色共焦数据处理程序根据预先建立的中心波长和标定好的轴向高度信息的关系以获取所述被测透明材料表面及内部缺陷的深度信息；

所述彩色共焦数据处理程序在获取所述被测透明材料表面及内部缺陷的深度信息的同时，对所述被测透明材料内部缺陷横向信息的提取。

9.根据权利要求7所述的一种透明材料表面及内部缺陷的检测方法，其特征在于：所述彩色共焦数据处理程序根据预先建立的中心波长和标定好的轴向高度信息的关系以及获取的所述被测透明材料表面及内部缺陷的深度信息时，还包括所述彩色共焦数据处理程序对光学测量系统中干扰表面反射光影响的消除。