[发明专利]柔性基底薄膜集中载荷的力学性能原位测试辅助装置

权利要求书

1.一种柔性基底薄膜集中载荷的力学性能原位测试辅助装置，其特征在于，该装置包括有夹持机构(1)、顶膜机构(2)、加载机构(3)以及精密检测单元(4)；

夹持机构(1)由框架(11)、连接在框架(11)上的压片(12)和紧固螺栓组成，框架(11)为中空结构，薄膜试件(5)置于框架(11)上，拧紧紧固螺栓将薄膜试件(5)压紧在压片(12)与框架(11)之间；

顶膜机构(2)由顶球(21)、连接杆(22)、球头推杆(23)和销轴(24)组成，连接杆(22)杆体铰接在框架(11)上，连接杆(22)头端连接顶球(21)，顶球(21)处于框架(11)中空中心位置，连接杆(22)头端连接顶球(21)，连接杆(22)末端与球头推杆(23)连接，球头推杆(23)与加载机构(3)配合；

加载机构(3)包括有连接架(31)、精密直流伺服电机(32)、联轴器(33)、驱动轮(34)、托板(35)和轴承(36)，托板(35)连接在夹持机构(1)的框架(11)侧壁，精密直流伺服电机(32)固定安装在连接架(31)上，精密直流伺服电机(32)配备有减速器，其输出轴通过联轴器(33)与驱动轮(34)轴向联接，驱动轮(34)圆周侧壁上设有螺旋凹槽，顶膜机构(2)球头推杆(23)的末端与驱动轮(34)的凹槽配合，驱动轮(34)底部通过轴承(36)装配在托板(35)上；

精密检测单元(4)包括有光电编码器(41)、光栅尺(43)、采集卡(42)及PC机(45)，光电编码器(41)与加载机构(3)的精密直流伺服电机(32)同轴相连，光栅尺(43)读数头安装在框架(11)上，光栅尺(43)主尺安装在连接杆(22)杆体上，光电编码器(41)、光栅尺(43)经过采集卡(42)采集数据传输给PC机(45)处理，PC机(45)与显微镜主机(44)通讯。

2.根据权利要求1所述的柔性基底薄膜集中载荷的力学性能原位测试辅助装置，其特征在于，所述顶膜机构2的球头推杆(23)末端设有球头，球头嵌入驱动轮(34)的凹槽内。

3.根据权利要求1所述的柔性基底薄膜集中载荷的力学性能原位测试辅助装置，其特征在于，所述压片(12)与薄膜试件(5)接触表面滚有花纹。

4.根据权利要求1所述的柔性基底薄膜集中载荷的力学性能原位测试辅助装置，其特征在于，所述连接杆(22)设置为Z字型。

5.根据权利要求1所述的柔性基底薄膜集中载荷的力学性能原位测试辅助装置，其特征在于，所述框架(11)和连接架(31)设有可安装至电子显微镜腔体内的螺纹孔。