[发明专利]光子晶体谐振腔树状结构波束形成网络芯片及其制备方法

权利要求书

1.一种光子晶体谐振腔树状结构波束形成网络芯片，包括波束形成网络结构层（3），其特征在于，所述波束形成网络结构层（3）包括入射耦合光栅（5）、第一级光子晶体谐振组合（6）、第二级光子晶体谐振腔组合（7）、...、第 N 级光子晶体谐振腔组合（8）、第一光波导（9）、第二光波导（10）、...、第 N 光波导（11）、第 N+1 光波导（12）、出射耦合光栅（13）；

所述第二级光子晶体谐振腔组合（7）包括 B₁条支路，所述第三级光子晶体谐振腔包括的支路数为所述第二级光子晶体谐振腔组合（7）支路数的B₂倍，...，所述第 N 级光子晶体谐振腔组合（8）的支路数为第 N-1 级光子晶体谐振腔组合支路数的 B_N-1倍；

所述入射耦合光栅（5）通过第一光波导（9）与所述第一级光子晶体谐振腔组合（6）连接，所述第一级光子晶体谐振腔组合（6）连接所述第二光波导（10），所述第二光波导（10）远离所述第一级光子晶体谐振腔组合（6）一端分叉为 B₁ 条岔路，且所述第二光波导（10）分为的每条岔路与所述第二级光子晶体谐振腔组合（7）的B₁ 条支路一对一连接，...，所述第N-1级光子晶体谐振腔组合每条支路均分别连接一条所述第 N 光波导（11），每条所述第N光波导（11）远离所述第N-1级光子晶体谐振腔组合一端均分叉为 B_N-1条岔路，且所述第 N光波导分为的每条岔路与所述第N级光子晶体谐振腔组合（8）的每条支路一对一连接，所述第N级光子晶体谐振腔组合（8）的每条支路通过均通过一条第N+1光波导（12）连接一个出射耦合光栅（13）;

其中：N为正整数，且 N 大于等于 2；其中B₁ 至B_N-1均为正整数，且B₁大于等于2；

所述第一级光子晶体谐振腔组合（6）及所述第二级至 N级光子晶体谐振腔组合的每条支路均包括光子晶体波导（14）、光子晶体谐振腔（17），所述光子晶体谐振腔（17）数目均为偶数，所述光子晶体谐振腔（17）对称分布在光子晶体波导两侧；所述第一光波导（9）与所述第一级光子晶体谐振腔组合（6）的光子晶体波导（14）连接，所述第二至第N级光波导两端分别与相对应的光子晶体谐振腔组合中的光子晶体波导（14）连接。

2.如权利要求 1 所述的一种光子晶体谐振腔树状结构波束形成网络芯片，其特征在于，所述第二至第N级光子晶体谐振腔组合中的每一级光子晶体谐振腔的各个支路结构相同。

3.如权利要求 1 所述的一种光子晶体谐振腔树状结构波束形成网络芯片，其特征在于，所述B_N-1为正偶数。

4.如权利要求 1 所述的一种光子晶体谐振腔树状结构波束形成网络芯片，其特征在于，还包括电极层（4），所述电极层（4）包括铬加热电极（18），所述铬加热电极（18）围绕所述光子晶体谐振腔（17），所述铬加热电极（18）通过引线连接有正电极（15）及负电极（16），所述正电极（15）及负电极（16）表面覆盖有表面金膜。