[发明专利]立式烘烤氧化系统

权利要求书

1.一种立式烘烤氧化系统，用于处理坩埚，其特征在于：其包括一炉体、包覆于炉体外的一保温层、固定于炉体内的一坩埚架总成、用于加热的一石英管加热器、用于封闭炉体并夹持固定石英管加热器的一冷却密封接头以及设于保温层外的一外壳。

2.根据权利要求1所述的立式烘烤氧化系统，其特征在于：所述坩埚架总成包括一底盘、垂直固定于底盘上的若干坩埚架、垂直固定于底盘中心的一第一提手，所述底盘依靠一坩埚锁栓固定于炉体内，所述坩埚固定在坩埚架总成上。

3.根据权利要求2所述的立式烘烤氧化系统，其特征在于：每一坩埚架包括一支撑柄、一第一环架、一第二环架，所述第一环架、第二环架均水平固定于支撑柄的一侧，所述第一环架的内环半径大于第二环架的内环半径，第一环架位于第二环架的上方。

4.根据权利要求3所述的立式烘烤氧化系统，其特征在于：所述支撑柄包括一曲部和自曲部向下延伸的一直部，所述直部垂直于底盘固定，所述曲部位于第一环架、第二环架之间，所述直部位于第二环架和底盘之间。

5.根据权利要求1所述的立式烘烤氧化系统，其特征在于：所述石英管加热器包括一长筒形石英管以及置于石英管内的至少一电热丝，所述石英管管口内塞有一隔热棉，所述石英管管口外还设有用于密封的一金属件，所述金属件盖设于石英管管口外，所述电热丝的一端固定在金属件上，所述电热丝的另一端悬置于石英管内，所述金属件包括一主体、凸出于主体的一第二提手以及设置于主体侧壁上的若干卡扣。

6.根据权利要求5所述的立式烘烤氧化系统，其特征在于：所述金属件与石英管结合处形成一卡槽，所述卡槽内放置一密封圈。

7.根据权利要求5所述的立式烘烤氧化系统，其特征在于：所述金属件内开设有一冷却水槽。

8.根据权利要求1所述的立式烘烤氧化系统，其特征在于：所述冷却密封接头包括一圆柱形主体以及贴设于主体下方的一层反辐射隔热垫，所述主体上开设有用于加热装置放置的若干放置孔，所述放置孔上下贯穿主体，所述主体上表面中心凸设有一第三提手，所述主体侧缘设置有若干紧固件，所述主体内设置一环形冷却水槽，所述主体侧壁设有若干冷却水接口，所述冷却水槽与冷却水接口连通。

9.根据权利要求8所述的立式烘烤氧化系统，其特征在于：所述主体侧边底部设有一凹槽，所述凹槽内置一密封圈。

10.根据权利要求8所述的立式烘烤氧化系统，其特征在于：所述主体上表面设置有若干槽道，所述若干放置孔通过槽道互相连通。