[发明专利]包含紫外波段与近红外波段的超宽带增透膜的制作方法

权利要求书

1.一种包含紫外波段与近红外波段的超宽带增透膜的制备方法，其特征在于，步骤如下：以正硅酸乙酯为前驱体、无水乙醇为溶剂、浓氨水为催化剂、去离子水为水解反应物，制备碱催化溶胶，提拉成膜后形成多孔氧化硅作为两层膜的上层；以正硅酸乙酯为前驱体、无水乙醇为溶剂、浓盐酸为催化剂，去离子水为水解反应物，制备酸催化溶胶，将所述碱催化溶胶与酸催化溶胶按一定比例混合，提拉成膜，形成折射率较大的底层薄膜；最后经过高温烘烤，在熔融石英基底表面形成两层氧化硅超宽带增透膜。

2.根据权利要求1所述的包含紫外波段与近红外波段的超宽带增透膜的制备方法，其特征在于，所述碱催化溶胶与酸催化溶胶的一定比例是指：按体积比2：8。

3.根据权利要求2所述的包含紫外波段与近红外波段的超宽带增透膜的制备方法，其特征在于，具体制备工艺步骤是：

其中碱催化溶胶制备过程如下：

⑴ 将正硅酸乙酯、无水乙醇、浓氨水、去离子水按照摩尔比1:38:0.5:2混合，室温下磁力搅拌5小时，静置7天，在80℃下搅拌回流15小时除去氨水，直到溶胶pH值接近7；

⑵ 将正硅酸乙酯、无水乙醇、浓盐酸、去离子水按照摩尔比1:37.5:0.01:4混合，室温下磁力搅拌4小时，静置5天；

⑶ 将上述碱催化溶胶和酸催化溶胶按照体积比8:2混合，将酸催化溶胶逐滴滴入正在磁力搅拌碱催化溶胶中，混合完毕后继续搅拌15分钟；

其中酸催化溶胶制备过程如下：

⑷ 混合溶胶经0.22微米聚偏氟乙烯膜过滤，除去大分子杂质，混合溶胶室温下静置一天，作为底层薄膜镀膜液；

⑸ 将准备好的基片浸入到步骤（4）中的酸碱混合溶胶中，静置8分钟，以6cm/min的速度提拉起来，空气中自然风干15分钟，转移到干燥箱中80℃下鼓风干燥半小时；

酸碱混合溶胶制备步骤如下：

⑹ 将上述碱催化溶胶和酸催化溶胶按照体积比2:8混合，将酸催化溶胶逐滴滴入正在磁力搅拌碱催化溶胶中，混合完毕后继续搅拌15分钟；

⑺ 混合溶胶经0.22微米聚四氟乙烯膜过滤，除去大分子杂质；

⑻ 混合溶胶室温下静置一天，作为底层薄膜镀膜液；

基片准备步骤如下：

⑼ 将熔融石英基片分别经洗涤剂水溶液，无水乙醇，去离子水超声清洗；

⑽ 镀膜前经乙醇乙醚混合液擦拭；

镀膜步骤如下：

⑾ 将准备好的基片浸入到步骤（8）中的酸碱混合溶胶中，静置5~10分钟，以9cm/min速度提拉起来，空气中自然风干15分钟，转移到干燥箱中80℃下鼓风干燥半小时；将镀好底层膜的基片浸入到步骤（3）中的碱催化溶胶中，静置5~10分钟，以6cm/min速度提拉起来，空气中自然风干15分钟，转移到干燥箱中80℃下鼓风干燥半小时；

⑿ 将基片转移到马弗炉中400℃下烘烤2小时。

4.根据权利要求3所述的包含紫外波段与近红外波段的超宽带增透膜的制备方法，其特征在于，步骤⑴中正硅酸乙酯、无水乙醇、浓氨水、去离子水的摩尔比为1：38：0.5：2。

5.根据权利要求3所述的包含紫外波段与近红外波段的超宽带增透膜的制备方法，其特征在于，步骤⑷中正硅酸乙酯、无水乙醇、浓盐酸、去离子水的摩尔比为1：37.5：0.01：4。