[发明专利]一种太阳能电池表面钝化膜生产设备

权利要求书

1.一种太阳能电池表面钝化膜生产设备，其特征在于，包括两工艺镀膜柜、两石墨舟、传输装置、上料装置、移载装置；所述传输装置布置于两工艺镀膜柜之间，上料装置布置于传输装置的一端；所述工艺镀膜柜内设有可容纳一石墨舟的腔体，每一石墨舟内置于一工艺镀膜柜；所述移载 装置用于将硅片从上料装置移送至石墨舟上，及将硅片从石墨舟移送至传输装置上；

所述石墨舟包括若干石墨板、上盖板、下盖板；所述上盖板水平布置于工艺镀膜柜的顶部内侧，下盖板水平布置于工艺镀膜柜的底部内侧；所述若干石墨板在竖向呈叠层排列，并置于上盖板和下盖板之间；所述石墨板水平布置，相邻的石墨板之间具有间隙，且相邻石墨板之间经若干连接柱连接；

每一石墨板上设有若干硅片定位机构；所述硅片定位机构包括若干定位支柱，每一定位支柱的顶部设有防滑纹路；

所述移载装置包括移载支架、多轴机械手、扁平吸盘；所述扁平吸盘采用伯努力吸盘。

2.根据权利要求1所述的太阳能电池表面钝化膜生产设备，其特征在于，每一石墨板上的硅片定位机构设置为4～9个；每一硅片定位机构上的定位支柱设置为3个或4个。

3.根据权利要求1所述的太阳能电池表面钝化膜生产设备，其特征在于，所述移载支架架设于两工艺镀膜柜的顶部之间；所述多轴机械手的上端吊装于移载支架上，下端安装扁平吸盘；所述扁平吸盘上布置若干吸嘴。

4.根据权利要求1所述的太阳能电池表面钝化膜生产设备，其特征在于，所述扁平吸盘的厚度小于两石墨板的间距。

5.根据权利要求4所述的太阳能电池表面钝化膜生产设备，其特征在于，所述扁平吸盘上的吸嘴数量与每一石墨板上的硅片定位机构数量一致，且位置一一对应。

6.根据权利要求1所述的太阳能电池表面钝化膜生产设备，其特征在于，所述钝化膜生产设备还包括石墨舟驱动电机；所述工艺镀膜柜的内侧从其顶部至底部设有第一滑动机构；所述石墨舟驱动电机用于驱动石墨舟经第一滑动机构上下运动。

7.根据权利要求6所述的太阳能电池表面钝化膜生产设备，其特征在于，所述传输装置包括两传送带机构、一传送支架，两传送带机构均从传送支架顶部的上料装置一端延伸至另一端。

8.根据权利要求7所述的太阳能电池表面钝化膜生产设备，其特征在于，所述上料装置包括升降驱动电机、上料支架、若干上料板、第二滑动机构；所述第二滑动机构从上料支架的顶部布置至底部，升降驱动电机用于驱动若干上料板经第二滑动机构沿上料支架升降。